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챔버의 정제장치

  • 기술번호 : KST2015023215
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요약 본 발명은 증착장치 내의 챔버로부터 배기되는 배기가스를 세정하여 외부로 배출시키기 위한 챔버의 정제장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 챔버의 정제장치는 챔버로부터 배기되는 가스를 외부로 배출시키기 위한 적어도 하나 이상의 가스세정기와, 가스세정기의 배기압변화에 따라 챔버로부터 배기되는 가스를 외부로 배출시키기 위한 적어도 하나 이상의 백업용 가스세정기와, 가스세정기의 배기압변화가 감지되면 챔버와 가스세정기 사이의 배기관을 잠그고 챔버와 백업용 가스세정기 사이의 배기관을 개방시키기 위한 배기 제어수단을 구비한다. 이러한 구성에 의하여, 본 발명에 따른 챔버의 정제장치는 가스세정기의 고장시에도 챔버의 배기가스가 원할히 배출될 수 있게 된다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1019990048735 (1999.11.05)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0685305-0000 (2007.02.14)
공개번호/일자 10-2001-0045442 (2001.06.05) 문서열기
공고번호/일자 (20070222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오선 대한민국 경상북도구미시임

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.11.05 수리 (Accepted) 1-1-1999-0143239-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2004.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2004-0507243-10
4 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.11.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0507238-92
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0044957-41
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0425992-14
8 의견서
Written Opinion
2006.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0694033-49
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.09.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0694021-02
10 등록결정서
Decision to grant
2007.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0031474-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
1 1
무기물질을 증착하기 위한 다수의 챔버들을 구비하는 증착장치에 있어서, 상기 챔버로부터 배기되는 가스를 외부로 배출시키기 위한 적어도 두 개 이상의 가스세정기와,상기 가스세정기들의 배기압변화에 따라 상기 챔버로부터 배기되는 가스를 외부로 배출시키기 위한 백업용 가스세정기와,상기 가스세정기의 배기압변화가 감지되면 상기 챔버와 상기 가스세정기 사이의 배기관을 잠그고 상기 챔버와 상기 백업용 가스세정기 사이의 배기관을 개방시키기 위한 배기 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버의 정제장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 챔버와 상기 가스세정기 사이의 배기관과 상기 챔버와 상기 백업용 가스세정기 사이의 배기관은 병렬로 연결된 것을 특징으로 하는 챔버의 정제장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 챔버와 상기 가스세정기 사이의 배기관 사이에 설치되어 상기 챔버와 상기 가스세정기 사이의 배기로를 개폐하기 위한 제1 배기밸브와, 상기 챔버와 상기 백업용 가스세정기 사이의 배기관 사이에 설치되어 상기 챔버와 상기 백업용 가스세정기 사이의 배기로를 개폐하기 위한 제2 배기밸브를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버의 정제장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 배기 제어수단은 제1 배기밸브를 개폐시키기 위한 제1 밸브 구동부와, 상기 제2 배기밸브를 개폐시키기 위한 제1 밸브 구동부와, 상기 가스세정기의 배기압 변화를 감지하여 상기 제1 및 제2 밸브 구동부들을 구동시키기 위한 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버의 정제장치
5 4
제 3 항에 있어서, 상기 배기 제어수단은 제1 배기밸브를 개폐시키기 위한 제1 밸브 구동부와, 상기 제2 배기밸브를 개폐시키기 위한 제1 밸브 구동부와, 상기 가스세정기의 배기압 변화를 감지하여 상기 제1 및 제2 밸브 구동부들을 구동시키기 위한 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버의 정제장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.