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유리기판과, 상기 유리기판상에 정의되고, 병목부분으로 잉크노즐부와 잉크대기부로 구분되는 잉크공급로와, 상기 잉크노즐부를 덮도록 형성된 탄성층과, 상기 탄성층이 상기 유리기판의 상기 잉크노즐부에 소정공간을 두고 지지되도록 상기 유리기판 상부에서 상기 탄성층을 지지하는 지지층과, 상기 탄성층 상부에 위치하여 전기적신호에 따라 상기 탄성층이 상기 잉크노즐부의 공간을 탄성적으로 가압할 수 있는 압전소자 를 포함하는 잉크젯 헤드의 잉크공급부
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제1항에 있어서, 상기 지지층은 실리콘산화막, 실리콘질화막으로 이루어진 그룹중에서 선택된 물질인 잉크젯 헤드의 잉크공급부
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제1항에 있어서, 상기 탄성층은 비정질실리콘, 폴리실리콘으로 이루어진 그룹중에서 선택된 물질인 잉크젯 헤드의 잉크공급부
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유리기판을 공급하는 단계와;상기 유리기판 상에 감광성막을 형성하는 단계와;상기 유리기판 및 상기 감광성막 상부에 지지층을 형성하는 단계와;상기 지지층 상의 일부에 탄성층을 형성하는 단계와;상기 탄성층 상에 압전소자를 형성하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드의 잉크공급부 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 지지층은 실리콘산화막, 실리콘질화막으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 물질인 잉크젯 헤드의 잉크공급부 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 탄성층은 비정질실리콘, 폴리실리콘으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 물질인 잉크젯 헤드의 잉크공급부 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 탄성층을 형성하는 단계 이후, 상기 압전소자를 형성하는 단계 이전,상기 감광성막을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 잉크젯 헤드의 잉크공급부 제조방법
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제 7항에 있어서,상기 감광성막과, 상기 지지층과, 상기 탄성층과, 상기 압전소자는 각각 사진식각공정을 통해 형성되고,상기 감광성막은 습식식각에 의해 제거되는 잉크젯 헤드의 잉크공급부 제조방법
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