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기판을 플래튼의 커버인 서셉터 위에 로딩하고, 상기 기판이 떨어지지 않게끔 가이딩한 다음 상기 플래튼을 수직으로 세워 증착 작업을 수행하는 수직형 증착 장치에 있어서, 상기 기판을 가이딩하기 위해 상기 플래튼의 상부에 마련됨과 아울러 상기 기판에 접하는 부분에 단턱홈이 형성된 상부 클램프와, 상기 상부 클램프와 함께 상기 기판을 가이딩 하기 위해 상기 플래튼의 하부에 마련됨과 아울러 상기 플래튼이 수직으로 세워질 때 상기 기판과 상기 서셉터에 각각 형합되는 계단형 단턱부가 형성된 하부 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하부 클램프에 비해 소정 간격 아래에 마련되어 상기 하부 클램프와 함께 상기 기판을 지지하는 스토퍼 핀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 상부의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 기판의 상부에 대면되게끔 상기 서셉터 내에 마련되는 상부 센서와, 상기 기판의 다른 부분의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 플래튼의 하단부에 마련되는 하부 센서와, 상기 상부 및 하부 센서의 감지 신호에 대응하여 프로세스의 진행 및 플래튼의 구동 여부를 제어하는 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 상부의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 기판의 상부에 대면되게끔 상기 서셉터 내에 마련되는 상부 센서와, 상기 기판의 다른 부분의 파손 유무를 감지하기 위해 상기 플래튼의 하단부에 마련되는 하부 센서와, 상기 상부 및 하부 센서의 감지 신호에 대응하여 프로세스의 진행 및 플래튼의 구동 여부를 제어하는 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 증착 장치
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