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기판을 구비하는 단계와; 상기 기판 위에 도전성금속으로 제 1 금속층을 증착하는 단계와; 제 1 마스크로 상기 제 1 금속층을 패터닝하여 게이트배선과, 상기 게이트배선의 일 끝단에 게이트패드를 형성하는 단계와 ; 상기 게이트배선 및 게이트패드가 형성된 기판의 전면에 투명한 도전성 산화금속을 증착하는 단계와; 제 2 마스크로 상기 투명한 도전성 산화금속을 패터닝하여 상기 게이트패드 상부에 투명금속패턴을 형성하는 단계와; 상기 투명금속패턴이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연층과 진성반도체층과 불순물 반도체층 및 도전성금속층을 적층하는 단계와; 제 3 마스크로 패터닝하여, 상기 진성반도체층과 불순물반도체층과 도전성 금속층을 식각하여, 상기 게이트배선과 직교하는 소스배선과, 상기 소스배선의 끝단에 위치한 소스패드와, 상기 소스배선과 상기 게이트배선이 만나는 지점에서 상기 소스배선의 일부에서 상기 게이트배선의 길이방향으로 돌출형성된 소스/드레인부를 형성하는 단계와; 상기 소스배선과, 상기 소스패드와, 상기 소스/드레인부가 형성된 기판의 전면에 투명 도전성금속을 증착하는 단계와; 제 4 마스크로 상기 투명전극을 패터닝하고 식각하여, 상기 소스패드상에 투명전극이 평면적으로 겹쳐지도록 하고, 상기 소스/드레인부의 투명 도전성 금속층과 불투명 도전성 금속층 및 불순물반도체층을 동시에 식각하여 소정간격 이격된 소스전극과 드레인전극을 형성하고, 상기 드레인전극의 투명전극에서 연장된 화소전극을 형성하는 단계와; 상기 화소전극이 형성된 기판의 전면에 제 2 절연층을 형성하는 단계와; 제 5 마스크로 상기 제 2 절연층을 패터닝하여, 상기 게이트배선과 게이트패드 보다 큰 면적으로 상기 제 2 절연층이 게이트배선과 게이트패드와 평면적으로 겹쳐지고, 동시에 상기 소스배선과 소스패드와 평면적으로 겹쳐지도록 제 2 절연층을 식각하고, 상기 게이트패드 상의 제 1 절연층과 제 2 절연층을 동시에 식각하여 게이트 콘택홀을 형성하고 상기 소스배선 상의 제 2 절연층을 식각하여 소스콘택홀을 형성하고, 상기 소스배선과 화소전극사이의 제 2 절연층과 반도체막과 제 1 절연층을 동시에 식각하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 투명전극 패턴은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 5 마스크 공정은 상기 소스배선과 상기 화소전극 사이의 제 1 절연층을 식각하는 과정을 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
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기판과;상기 기판상에 도전성 금속으로 형성되고, 일방향으로 연장되며 일 끝단에는 게이트패드가 형성된 게이트배선과;상기 게이트패드상에 형성되고 노출되는 투명 도전성 금속패턴과;상기 게이트배선과 직교하면서, 하부에 절연층과 진성반도체층과 불순물반도체층이 적층되고 도전성금속으로 형성되며, 일끝단에 소스패드가 형성된 소스배선과; 상기 소스배선 하부의 상기 진성반도체층이 분기하여 상기 게이트 배선과 중첩하며 형성된 액티브층과; 상기 액티브층 상부로 상기 불순물반도체층에서 분기하여 형성된 제 1 오믹콘택층과, 이와 동일한 물질로 이격하여 상기 액티브층을 노출시키며 형성된 제 2 오믹콘택층과; 상기 제 1 오믹콘택층 상부로 이와 접촉하며 상기 소스배선에서 분기하여 형성된 소스전극과; 상기 소스 전극과 이격하여 상기 액티브층을 노출시키며 상기 제 2 오믹콘택층 상부로 이와 접촉하며 형성된 드레인전극과;상기 소스배선과 소정간격 이격되고, 상기 드레인전극 일부와 중첩하면서 연장되고 상기 게이트배선의 일부와 평면적으로 겹쳐 형성되는 화소전극과;상기 소스전극과 드레인전극과 게이트배선 상에 형성되는 보호층을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판
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제 5 항에 있어서,상기 보호층은 상기 게이트배선과 게이트패드를 따라 동일한 라인형상으로 형성되는 동시에, 상기 소스배선과 직교하는 게이트배선 상의 소스전극과, 이와는 소정간격 이격된 드레인전극과, 상기 액티브층과 소스배선 및 소스패드와 평면적으로 겹쳐 형성되는 액정표시장치용 어레이기판
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제 5 항에 있어서, 상기 소스배선 및 소스패드 상부에는 각각 상기 화소전극과 동일한 물질로 동일한 공정에서 형성되는 것을 특징으로 하는 보조소스배선 및 제 1 투명금속패턴이 더욱 형성된 액정표시장치용 어레이기판
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제 5 항에 있어서, 상기 게이트패드 상부에는 이와 접촉하며 투명한 도전성 산화금속으로 이루어진 제 2 투명금속패턴이 더욱 형성된 액정표시장치용 어레이기판
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제 6 항에 있어서, 상기 보호층은 상기 게이트패드 및 데이터패드 상부의 제 1, 2 투명금속패턴을 노출시키며 형성된 것이 특징인 액정표시장치용 어레이기판
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