| 요약 |
본 발명은 잉크젯헤드(ink jet head) 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히, 노즐을 가압시키어 잉크액을 분사시키기 위한 피에조소자 형성 시, 피에조소자의 두께에 관계없이 피에조소자의 상, 하부에 각각 형성되는 상부전극 및 하부전극 간의 쇼트가 방지되며, 보다 안정된 본딩이 가능한 잉크젯헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 잉크젯헤드는 다 수개의 노즐이 형성된 기판과, 기판에 본딩되며, 상면에 하부전극이 형성된 다이어프램(diaphragm)과, 하부전극에 본딩되며, 순차적으로 형성된 피에조소자와 상부전극과, 하부전극 상에 피에조소자를 덮으며, 상기 상부전극을 노출시키도록 형성된 평탄화막과, 평탄화막 상에 상부전극과 연결되도록 형성된 배선을 포함한 것이 특징이다. 상기 구조를 갖는 본 발명의 잉크젯헤드의 제조방법은 일면에 다 수개의 노즐이 형성된 기판을 준비하는 공정과, 상면에 하부전극이 형성된 다이어프램을 준비하는 공정과, 기판 상에 하부전극이 노출되도록 상기 다이어프램을 본딩시키는 공정과, 하부전극과 연결되도록 상부전극이 형성된 피에조소자를 본딩시키는 공정과, 하부전극 상에 피에조소자를 덮으며, 상부전극을 노출시키도록 평탄화막을 형성하는 공정과, 평탄화막 상에 상부전극과 연결되도록 배선을 하는 공정을 구비한 것이 특징이다. 따라서, 본 발명에서는 피에조금속이 형성된 기판을 평탄화함에 따라, 상부전극과 하부전극 간의 본딩이 안정하여 두 전극간의 쇼트됨이 방지되고, 또한, PCB 등 외부와의 연결이 용이하게 진행된다. 그리고, 본 발명에서는 상부전극과 하부전극이 피에조소자를 충분히 덮으면서 일방향으로 길게 패터닝됨에 따라, 피에조소자 두께를 얇게 형성이 가능하고, 저전압구동이 가능한 이점이 있다. 잉크젯헤드 및 그 제조방법
|
