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노광기 초점 조절장치

  • 기술번호 : KST2015023354
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요약 본 발명은 기판에 조사되는 광빔의 초점을 정확하게 조정하도록 구성된 노광기 초점 조절장치에 관한 것이다. 본 발명의 노광기 초점 조절장치는 경통의 일측면에 부착된 측면센서와, 경통의 상부면에 부착된 상부센서를 구비한다. 이에 따라, 본 발명의 노광기 초점 조절장치는 기판의 표면에 조사되는 광빔의 초점을 정확하게 형성하게 된다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/7055(2013.01)
출원번호/일자 1019990040983 (1999.09.22)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0649719-0000 (2006.11.17)
공개번호/일자 10-2001-0028628 (2001.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20061124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.09.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최종률 대한민국 경상북도구미시황

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.09.22 수리 (Accepted) 1-1-1999-0118316-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.09.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0418988-40
4 출원심사청구서
Request for Examination
2004.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2004-0418989-96
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2006-0011935-85
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0249608-12
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.06.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0410430-80
9 의견서
Written Opinion
2006.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0410449-46
10 등록결정서
Decision to grant
2006.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0632108-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광빔을 발생하는 광원과, 기판에 전사될 패턴이 형성된 마스크와, 광빔의 초점을 상기 기판의 표면에 형성하는 경통과, 상기 경통의 하부면에 부착된 하부센서와, 상기 기판이 안착된 스테이지와, 상기 스테이지를 지지하는 축과, 상기 축의 변위를 조절하도록 회전력을 발생하는 모터와, 상기 모터를 구동하는 모터구동부와, 각부를 제어하는 제어부를 구비하는 노광기에 있어서,경통 내부에 수납되어 경통으로 입사된 광빔을 수직으로 반사하는 반사미러와,상기 경통의 일측면에 부착되어 상기 반사미러의 전후 위치변화를 감지하는 측면센서와,상기 경통의 상부면에 부착되어 상기 반사미러의 틸트량을 감지하는 상부센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광기 초점 조절장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제어부가 상기 반사미러의 전후 위치변화에 대응하도록 상기 기판의 위치를 조절하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 노광기 초점 조절장치
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삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제어부가 상기 반사미러의 틸트량에 대응하도록 상기 기판의 틸트량을 조절하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 노광기 초점 조절장치
6 5
제 1 항에 있어서,상기 제어부가 상기 반사미러의 틸트량에 대응하도록 상기 기판의 틸트량을 조절하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 노광기 초점 조절장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.