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박막트랜지스터형 어레이기판의 액티브층 제조방법

  • 기술번호 : KST2015023416
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요약 본 발명은 폴리실리콘을 액티브층으로 사용하는 박막트랜지스터형 어레이기판에 관한 것으로, 상기 구동회로 영역과 화소영역으로 구성되는 어레이기판의 영역 중, 상기 구동회로 영역에 형성되는 박막트랜지스터의 액티브층은 SLS(sequential alteral solidification) 방식을 사용하여 형성하고, 다음으로 상기 SLS방법에 의해 일부가 폴리실리콘으로 형성된 기판의 전면을 MPGG(multiple pulse grain growth) 방식으로 결정화하여, 상기 SLS방식에 의해 형성된 폴리실리콘 표면의 디펙트를 제거하는 효과를 가져올 수 있으므로, 보다 고속의 스위칭 동작특성을 가지는 액정표시장치를 제작할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 27/1285(2013.01) H01L 27/1285(2013.01) H01L 27/1285(2013.01) H01L 27/1285(2013.01)
출원번호/일자 1020000011542 (2000.03.08)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0710621-0000 (2007.04.17)
공개번호/일자 10-2001-0087667 (2001.09.21) 문서열기
공고번호/일자 (20070424) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.03.02)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정윤호 대한민국 서울특별시구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2000-0043755-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 대리인변경신고서
Agent change Notification
2005.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2005-0110154-90
4 출원심사청구서
Request for Examination
2005.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2005-0110155-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0610987-70
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0938864-19
7 의견서
Written Opinion
2006.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0938865-65
8 등록결정서
Decision to grant
2007.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0201528-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
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구동회로 영역과 화소 영역을 가진 기판을 준비하는 단계와;상기 기판 상에 아몰퍼스 실리콘을 증착하여 아몰퍼스 실리콘막을 형성하는 단계와;상기 기판의 상기 구동회로 영역 상의 상기 아몰퍼스 실리콘막에 제 1 레이저 빔을 조사하여 SLS(Sequential lateral solidification) 방법에 의한 제 1 폴리실리콘막을 형성하는 단계와;상기 기판의 구동회로 영역과 상기 화소 영역 상에 각각 위치한 상기 제 1 폴리실리콘막과 상기 아몰퍼스 실리콘막에 제 2 레이저 빔을 조사하여 MPGG(multiple pulse grain growth) 방법에 의해, 상기 구동회로 영역의 상기 제 1 폴리실리콘막을 재결정화하는 제 2 폴리실리콘막과, 상기 화소 영역의 상기 아몰퍼스 실리콘을 결정화하는 제 3 폴리실리콘막을 형성하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판의 반도체층 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 레이저 빔은 상기 제 2 레이저 빔의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판의 반도체층 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 레이저 빔은 상기 제 2 레이저 빔의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판의 반도체층 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.