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파인 젯 장치

  • 기술번호 : KST2015023434
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요약 본 발명은 기판의 절단공정 후에 기판의 절단면을 세정하기 위한 파인 젯 지지대에 관한 것이다.본 발명의 파인 젯 장치는 이송장치의 폭방향으로 설치되는 레일과, 레일을 따라 이동 가능하게 설치되는 브라켓과, 브라켓에 설치되어 기판을 세정하기 위한 파인 젯을 구비한다.본 발명에 의하면, 파인 젯이 쉽게 유동할 수 있을 뿐만 아니라 기판의 사이즈 변화에 쉽게 적응할 수 있다.
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1020000008951 (2000.02.24)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0634832-0000 (2006.10.10)
공개번호/일자 10-2001-0084143 (2001.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20061017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.02.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종수 대한민국 대구광역시서구
2 이충언 대한민국 대구광역시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2000-0033758-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.02.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0096785-59
4 출원심사청구서
Request for Examination
2005.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2005-0096786-05
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.06.01 수리 (Accepted) 9-1-2006-0034448-34
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0334676-89
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0576541-97
9 의견서
Written Opinion
2006.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2006-0576555-25
10 등록결정서
Decision to grant
2006.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0533345-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
임의의 이송장치에 의해 이동되는 기판의 절단면을 세정하기 위한 장치에 있어서,상기 이송장치의 폭방향으로 상기 기판의 상단에 설치되는 적어도 두 개의 레일들과,상기 레일들을 따라 이동 가능하도록 상기 레일들 각각에 설치되는 브라켓과,상기 브라켓에 설치되어 상기 기판을 세정하기 위한 파인 젯을 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 브라켓은, 상기 레일이 유동 가능하게 되는 제 1 삽입홀과, 상기 제 1 삽입홀에 직교되는 방향으로 형성되어 상기 파인 젯의 일부가 삽입되는 제 2 삽입홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 파인 젯은 상기 제 2 삽입홀에 삽입되는 암을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 삽입홀로부터 상기 브라켓 외부까지 신장되는 횡방향 슬롯과, 상기 제 2 삽입홀로부터 상기 브라켓 외부까지 신장되는 종방향 슬롯과, 상기 횡방향 슬롯과 직교하는 방향으로 형성되는 제 1 탭핑홀과, 상기 종방향 슬롯과 직교하는 방향으로 형성되는 제 2 및 제 3 탭핑홀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
5 5
상기 제 4 항에 있어서, 상기 레일을 고정하기 위하여 상기 제 1 탭핑홀로 삽입되는 제 1 스크류와, 상기 암을 고정하기 위하여 상기 제 2 및 제 3 탭핑홀에 삽입되는 제 2 및 제 3 스크류를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
6 5
상기 제 4 항에 있어서, 상기 레일을 고정하기 위하여 상기 제 1 탭핑홀로 삽입되는 제 1 스크류와, 상기 암을 고정하기 위하여 상기 제 2 및 제 3 탭핑홀에 삽입되는 제 2 및 제 3 스크류를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 파인 젯 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.