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액정표시장치의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015023435
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요약 본 발명은 식각 공정을 단축함과 아울러 하부의 금속 패턴을 손상시키지 않으면서 ITO 패턴을 형성하기에 적합한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.액정표시장치의 제조방법은 투명기판 상에 ITO로된 투명도전막을 형성하는 단계와, 투명도전막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 포토 레지스트 패턴에 의해 노출되어진 투명도전막 부분을 환원시키는 단계와, 노출되어진 투명도전막 부분을 식각용액에 의해 식각하는 단계를 포함한다.
Int. CL G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01)
출원번호/일자 1020000022489 (2000.04.27)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0696262-0000 (2007.03.12)
공개번호/일자 10-2001-0104428 (2001.11.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.04.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안유신 대한민국 경상북도구미시형
2 문교호 대한민국 대구광역시북구
3 김후성 대한민국 서울특별시성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2000-0084346-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2005.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0203208-15
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.04.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0203199-92
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.06.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0045073-74
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0478468-21
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.10.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0751640-14
9 의견서
Written Opinion
2006.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0751645-42
10 등록결정서
Decision to grant
2007.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0057116-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
1 1
투명기판 상에 ITO로 된 투명도전막 패턴을 포함하는 액정표시장치의 제조방법에 있어서,상기 투명기판 상에 ITO로된 투명도전막을 형성하는 단계와,상기 투명도전막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와,상기 포토 레지스트 패턴에 의해 노출되어진 상기 투명도전막 부분을 환원시키는 단계와,상기 환원된 투명도전막 부분을 식각용액에 의해 전부 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 환원 단계는 상기 포토레지스트 패턴에 의해 노출되어진 상기 투명도전막 부분에 대하여 수소 플라즈마 처리가 수행되게 하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 식각 단계는 HCl계의 식각 용액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
4 4
상기 식각 단계는 C2H2O4계의 식각 용액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
5 4
상기 식각 단계는 C2H2O4계의 식각 용액에 의해 식각되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.