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진공증착장비의 서스셉터 구동 장치

  • 기술번호 : KST2015023492
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요약 본 발명은 진공증착장비에서 서스셉터 위치에러에 의한 서스셉터 손상을 방지할 수 있는 서스셉터 구동 장치에 관한 것이다. 본 발명의 증착장비의 서스셉터 구동장치는 서스셉터를 정해진 위치별로 상승 및 하강시키는 서스셉터 구동수단과, 서스셉터의 위치 및 위치에러를 감지하는 위치 및 위치에러 감지수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 서스셉터의 로드 포지션에서의 위치에러를 감지하여 로보트 암에 의한 스크래치가 발생되는 것을 방지함으로써 스크래치에 의해 발생된 이물질에 의한 유리기판 및 표시소자의 불량을 방지하여 제조수율을 향상시킬 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01)
출원번호/일자 1019990068072 (1999.12.31)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0626280-0000 (2006.09.13)
공개번호/일자 10-2001-0066363 (2001.07.11) 문서열기
공고번호/일자 (20060922) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.03)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오선 대한민국 경상북도구미시임

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.12.31 수리 (Accepted) 1-1-1999-0191243-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2004.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2004-0509458-76
4 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.11.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0509453-48
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2006-0012007-19
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0111624-07
8 의견서
Written Opinion
2006.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0264754-20
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.04.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0264743-28
10 등록결정서
Decision to grant
2006.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0469735-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
로보트 암에 의해 이송되어진 임의의 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 증착장비에서 상기 기판을 가열함과 아울러 플라즈마 발생을 위한 전압이 인가되는 서스셉터를 구동하는 장치에 있어서,제1 및 제2 돌출부를 구비하는 피감지부와;상기 서스셉터의 위치이동에 따라 이동되어 상기 제1 돌출부와 선택적으로 대응되며, 상기 서스셉터의 포지션을 감지하는 제1 센서와; 상기 서스셉터의 위치이동에 따라 이동되어 상기 제2 돌출부와 대응되는 홈부를 구비하며, 상기 서스셉터의 승강중에 위치에러를 감지하는 제2 센서와;상기 제2 센서의 위치에러 감지신호에 따라 상기 서스셉터의 승강을 중지시키는 서스셉터 구동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장비의 서스셉터 구동장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제2 센서는,상기 로보트 암에 의해 상기 기판이 상기 서스셉터의 상부에 위치하는 로드포지션에 대한 위치에러를 감지하는 것을 특징으로 하는 진공증착장비의 서스셉터 구동장치
3 3
삭제
4 4
제 2 항에 있어서,상기 제2 센서는 상기 제2 돌출부가 상기 홈부에 위치하는 경우 상기 로드 포지션에 대한 위치에러신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 진공증착장비의 서스셉터 구동장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 서스셉터를 지지함과 아울러 상기 구동수단에 의해 구동되는 지지수단을 더 구비하고,상기 제1 및 제2 센서는 상기 지지수단의 일 측에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공증착장비의 서스셉터 구동장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.