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액정 표시장치 및 액정 표시장치 제조방법

기술번호 : KST2015023496
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 액정 표시장치의 스위칭 소자로 쓰이는 박막 트랜지스터를 제작하기 위해 사용되는 식각공정, 현상공정, 세정공정을 저감하여 원가를 절감하고, 제품의 수율을 향상하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에서는 기판에 게이트 전극을 형성하고, 상기 게이트 전극이 형성된 기판 상의 전면에 걸쳐 절연막, 반도체층, 금속층, 포토레지스트를 순서대로 적층하고, 소정의 마스크 패턴을 사용하여 1, 2 차 노광하는 방법을 사용하여 박막 트랜지스터를 제조하는 방법에 관해 개시하고 있다.
Int. CL	G02F 1/136 (2006.01)
CPC	G02F 1/1368(2013.01) G02F 1/1368(2013.01) G02F 1/1368(2013.01) G02F 1/1368(2013.01) G02F 1/1368(2013.01)
출원번호/일자	1020000009268 (2000.02.25)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-0603847-0000 (2006.07.14)
공개번호/일자	10-2001-0084330 (2001.09.06) 문서열기
공고번호/일자	(20060724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2005.02.03)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박종욱	대한민국	경상북도구미시진

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	네이트특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로 *, *호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2000.02.25	수리 (Accepted)	1-1-2000-0034870-17
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2001.05.17	수리 (Accepted)	4-1-2001-0059077-39
3	대리인 변경 신고서 Agent change Notification	2005.02.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0066286-30
4	출원심사청구서 Request for Examination	2005.02.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0066287-86
5	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.05.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.06.13	수리 (Accepted)	9-1-2006-0034818-24
7	등록결정서 Decision to grant	2006.06.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0381466-99
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판을 구비하는 단계와; 상기 기판 상에 제 1 금속을 증착하고 제 1 마스크로 패터닝하여 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극이 형성된 기판의 전면에 걸쳐 절연막, 순수 반도체층, 불순물 반도체층, 제 2 금속층, 포토레지스트를 순서대로 적층하는 단계와; 상기 제 2 금속층 상에 형성된 포토레지스트를 채널부가 막힌 소스/드레인 형상의 패턴을 갖는 제 2 마스크로 1차 완전 노광하여 제 1 노광 영역을 형성하는 단계와; 상기 제 1 노광영역이 형성된 포토레지스트를 채널부가 형성된 소스/드레인 형상의 패턴을 갖는 제 3 마스크로 2차 부분 노광하여 제 2 노광영역을 형성하는 단계와; 상기 제 1, 2 노광영역을 갖는 포토레지스트를 현상하는 단계와; 현상된 포토레지스트를 마스크로 제 1 노광영역의 제 2 금속층, 불순물 반도체층, 순수 반도체층을 일괄 식각하는 단계와; 상기 부분 노광된 제 2 노광영역의 포토레지스트를 제거하는 단계와; 상기 제 2 노광영역이 제거된 포토레지스트에 의해 노출된 제 2 금속층을 식각하여 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 박막 트랜지스터 제조방법
2	2 청구항 1에 있어서, 상기 2차 노광은 1차 노광에 비해 노광 빛의 세기가 작은 박막 트랜지스터 제조방법
3	3 청구항 1에 있어서, 상기 식각된 소스 및 드레인 전극을 마스크로하여 상기 소스 및 드레인 전극의 사이에 존재하는 불순물 반도체층을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 박막 트랜지스터 제조방법
4	4 청구항 1 또는 청구항 3중 어느 한 항의 박막 트랜지스터 제조방법에 의해 제조된 박막 트랜지스터
5	5 기판 상에 제 1 금속으로 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극이 형성된 기판의 전면에 걸쳐 절연막, 순수 반도체층, 불순물 반도체층, 제 2 금속, 포토레지스트를 순서대로 적층하고, 채널부가 막힌 소스/드레인 형상의 패턴을 갖는 제 1 마스크로 상기 포토레지스트를 1차 완전 노광하여 제 1 노광 영역과, 상기 제 1 노광영역이 형성된 포토레지스트를 채널부가 형성된 소스/드레인 형상의 패턴을 갖는 제 2 마스크로 2차 부분 노광하여 제 2 노광영역을 각각 형성하는 단계와; 상기 제 1, 2 노광영역을 갖는 포토레지스트를 현상하는 단계와; 현상된 포토레지스트를 마스크로 제 1 노광영역의 제 2 금속층, 불순물 반도체층, 순수 반도체층을 일괄 식각하는 단계와; 상기 부분 노광된 제 2 노광영역의 포토레지스트를 제거하는 단계와; 상기 제 2 노광영역이 제거된 포토레지스트에 의해 노출된 제 2 금속층을 식각하여 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계와; 상기 소스 및 드레인 전극과 기판 전면에 걸쳐 형성되고 상기 드레인 전극의 일부가 노출된 드레인 콘택홀을 갖는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 보호막 상에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접촉하는 화소전극을 형성하는 단계 를 포함하는 액정 표시장치의 어레이기판 제조방법
6	6 청구항 5에 있어서, 상기 2차 노광은 1차 노광에 비해 노광 빛의 세기가 작은 액정 표시장치의 어레이기판 제조방법
7	7 청구항 5에 있어서, 상기 식각된 소스 및 드레인 전극을 마스크로하여 상기 소스 및 드레인 전극의 사이에 존재하는 불순물 반도체층을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 액정 표시장치의 어레이기판 제조방법
8	7 청구항 5에 있어서, 상기 식각된 소스 및 드레인 전극을 마스크로하여 상기 소스 및 드레인 전극의 사이에 존재하는 불순물 반도체층을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 액정 표시장치의 어레이기판 제조방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0603847-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20000225 출원 번호 : 1020000009268 공고 연월일 : 20060724 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060630 청구범위의 항수 : 7 유별 : G02F 1/136 발명의 명칭 : 액정 표시장치 및 액정 표시장치 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20180715

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	459,000 원	2006년 07월 18일	납입
제 4 년분	금 액	194,000 원	2009년 06월 22일	납입
제 5 년분	금 액	194,000 원	2010년 06월 21일	납입
제 6 년분	금 액	194,000 원	2011년 06월 15일	납입
제 7 년분	금 액	366,000 원	2012년 06월 28일	납입
제 8 년분	금 액	366,000 원	2013년 06월 19일	납입
제 9 년분	금 액	366,000 원	2014년 06월 30일	납입
제 10 년분	금 액	625,000 원	2015년 06월 29일	납입
제 11 년분	금 액	625,000 원	2016년 06월 30일	납입
제 12 년분	금 액	625,000 원	2017년 06월 15일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2000.02.25	수리 (Accepted)	1-1-2000-0034870-17
2	출원인정보변경(경정)신고서	2001.05.17	수리 (Accepted)	4-1-2001-0059077-39
3	대리인 변경 신고서	2005.02.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0066286-30
4	출원심사청구서	2005.02.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0066287-86
5	선행기술조사의뢰서	2006.05.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서	2006.06.13	수리 (Accepted)	9-1-2006-0034818-24
7	등록결정서	2006.06.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0381466-99
8	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
9	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
10	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95


기술번호	KST2015023496
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	액정 표시장치 및 액정 표시장치 제조방법
기술개요	본 발명은 액정 표시장치의 스위칭 소자로 쓰이는 박막 트랜지스터를 제작하기 위해 사용되는 식각공정, 현상공정, 세정공정을 저감하여 원가를 절감하고, 제품의 수율을 향상하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에서는 기판에 게이트 전극을 형성하고, 상기 게이트 전극이 형성된 기판 상의 전면에 걸쳐 절연막, 반도체층, 금속층, 포토레지스트를 순서대로 적층하고, 소정의 마스크 패턴을 사용하여 1, 2 차 노광하는 방법을 사용하여 박막 트랜지스터를 제조하는 방법에 관해 개시하고 있다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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