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기판을 구비하는 제 1 단계와; 상기 기판 상에 제 1 금속층을 증착하고 제 1 마스크로 패터닝하여 게이트 배선과 게이트 전극을 형성하는 제 2 단계와; 상기 게이트 배선 및 게이트 전극이 형성된 기판의 전면에 걸쳐 게이트 절연막, 순수 반도체층, 불순물 반도체층, 제 2 금속층을 순서대로 증착하는 제 3 단계와; 상기 제 2 금속층을 제 2 마스크로 패터닝하여 데이터 배선과, 상기 데이터 배선과 연결된 소스 전극부와, 드레인 전극부와, 상기 게이트 배선을 덮는 게이트 배선 보호전극을 형성하는 제 4 단계와; 상기 패터닝된 제 2 금속층 하부를 제외한 부분의 불순물 반도체층을 식각하여 상기 소스 및 드레인 전극부 사이에 채널을 형성하는 제 5 단계와; 상기 제 2 마스크로 패터닝된 제 2 금속층 상의 전면에 걸쳐 제 3 절연막을 증착하고 제 3 마스크로 상기 데이터 배선과, 상기 소스 및 드레인 전극부와, 상기 채널을 덮는 제 1 보호막과, 상기 게이트 배선 보호전극의 일부를 덮는 제 2 보호막을 형성하는 제 6 단계와; 상기 제 1 및 제 2 보호막이 형성된 기판 전면에 걸쳐 투명전극을 증착하고 제 4 마스크로 패터닝하여, 상기 드레인 전극부와 접촉하는 화소전극을 형성하는 제 7 단계와; 상기 제 1 및 제 2 보호막 하부 상기 패터닝된 제 2 금속층을 제외한 제 2 금속층을 상기 제 1 및 제 2 보호막을 마스크로하여 상기 게이트 절연막 상부까지 식각하고, 스토리지 캐패시터를 형성하는 제 8 단계 를 포함하는 액정 표시장치 제조방법
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삭제
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청구항 1에 있어서, 상기 제 4 단계에서 상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극부와 상기 게이트 배선 보호부를 모두 단락되게 패터닝하는 액정 표시장치 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제 6 단계에서 제 3 마스크로 상기 제 1 및 제 2 보호막을 패터닝할 때, 상기 제 1 보호막에 상기 드레인 전극부와 상기 제 2 보호막에 상기 게이트 배선 보호전극의 일부분이 노출되도록 각각 드레인 콘택홀과 스토리지 콘택홀을 동시에 형성하는 액정 표시장치 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 8 단계에서 상기 화소전극을 형성한 후, 상기 제 1 및 제 2 보호막 하부 제 2 금속층(데이터 배선, 소스 및 드레인 전극부, 게이트 배선 보호전극)을 제외한 부분의 제 2 금속층을 식각하여 상기 제 1 보호막에 덮인 상기 소스 및 드레인 전극부를 소스 및 드레인 전극과, 상기 제 2 보호막으로 덮인 상기 게이트 배선 보호전극을 스토리지 전극으로 형성하는 액정 표시장치 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 스토리지 캐패시터는 상기 게이트 배선을 일 전극으로 하고, 스토리지 전극을 타 전극으로 하며, 상기 게이트 배선 및 상기 스토리지 전극의 사이에 형성된 게이트 절연막, 비정질 실리콘, 불순물이 함유된 비정질 실리콘을 유전층으로 하는 액정 표시장치 제조방법
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기판을 구비하는 단계와; 상기 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극이 형성된 기판 전면에 걸쳐 제 1 절연막, 비정질 실리콘, 불순물이 함유된 비정질 실리콘, 소스/드레인 금속을 연속으로 증착하고 패터닝하여 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극부와 게이트 배선 보호부를 형성하고, 상기 패터닝된 소스/드레인 금속에 의해 노출된 상기 불순물이 함유된 비정질 실리콘을 식각하는 단계와; 상기 패터닝된 소스/드레인 금속의 상부에 제 2 절연막을 증착하고 패터닝하여, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극부를 덮는 제 1 보호막과, 상기 게이트 배선 보호부의 일부를 덮는 제 2 보호막을 형성하는 단계와; 상기 드레인 전극부와 접촉하는 화소전극을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 보호막에 의해 노출된 부분의 소스/드레인 금속과, 불순물이 함유된 비정질 실리콘과, 비정질 실리콘을 제거하는 단계 를 포함하는 액정 표시장치 제조방법
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기판을 구비하는 단계와; 상기 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극이 형성된 기판 전면에 걸쳐 제 1 절연막, 비정질 실리콘, 불순물이 함유된 비정질 실리콘, 소스/드레인 금속을 연속으로 증착하고 패터닝하여 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극부와 게이트 배선 보호부를 형성하고, 상기 패터닝된 소스/드레인 금속에 의해 노출된 상기 불순물이 함유된 비정질 실리콘을 식각하는 단계와; 상기 패터닝된 소스/드레인 금속의 상부에 제 2 절연막을 증착하고 패터닝하여, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극부를 덮는 제 1 보호막과, 상기 게이트 배선 보호부의 일부를 덮는 제 2 보호막을 형성하는 단계와; 상기 드레인 전극부와 접촉하는 화소전극을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 보호막에 의해 노출된 부분의 소스/드레인 금속과, 불순물이 함유된 비정질 실리콘과, 비정질 실리콘을 제거하는 단계 를 포함하는 액정 표시장치 제조방법
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