맞춤기술찾기

이전대상기술

액정표시장치용 어레이기판 제조방법

  • 기술번호 : KST2015023548
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액정표시장치용 어레이기판에 관한 것으로, 4 마스크공정으로 박막트랜지스터와 게이트배선과 데이터배선을 형성하는 어레이기판 공정 중 제 1 절연층과 반도체층과 제 2 절연층을 동시에 식각한 후, 식각에 의해 측면으로 노출된 반도체층을 산소(O2)분위기에서 산화시켜 상기 반도체층의 측면에 절연막을 형성하여 추후에 형성되는 화소전극과 접촉하더라도 전기적으로 절연되는 효과를 거둘 수 있으므로 액정표시장치의 생산수율을 향상시킬 수 있다.
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자 1019990062984 (1999.12.27)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0614459-0000 (2006.08.14)
공개번호/일자 10-2001-0060586 (2001.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20060821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.10.13)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 문교호 대한민국 대구광역시북구
2 김후성 대한민국 서울특별시성북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-0182991-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2004.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-0465171-57
4 대리인 변경 신고서
Agent change Notification
2004.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-0465170-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0171686-12
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0378802-19
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0431998-26
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.07.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0535473-85
9 의견서
Written Opinion
2006.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0535474-20
10 등록결정서
Decision to grant
2006.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0465024-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 구비하는 단계와;상기 기판 위에 제 1 도전성 금속을 증착하고 제 1 마스크로 패터닝하여, 게이트배선과, 상기 게이트배선에서 일 방향으로 돌출형성된 게이트전극을 형성하는 단계와;상기 게이트배선 및 게이트전극이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연층과 진성반도체층과 불순물 반도체층 및 제 2 도전성 금속층을 적층하는 단계와;상기 제 2 도전성 금속층을 제 2 마스크로 패터닝하여, 상기 불순물 반도체층과 제 2 도전성 금속층을 식각하여, 상기 게이트배선과 직교하는 데이터배선과, 상기 데이터배선에서 상기 게이트극의 상부로 돌출형성된 소스/드레인전극을 형성하는 단계와;상기 데이터배선과 상기 소스전극 및 드레인전극이 형성된 기판의 전면에 절연물질을 증착하고 제 3 마스크로 패터닝하여, 상기 드레인전극 상부의 제 2 절연층을 식각하여 드레인콘택홀을 형성하고 동시에 상기 화소영역 상의 제 1 절연층과 반도체층과 제 2 절연층을 식각하는 단계와; 상기 제 2 절연층을 패터닝 한 후, 산소를 이용하여 상기 식각된 반도체층의 측면을 산화하여 절연화 하는 단계와;상기 반도체층의 측면이 산화된 기판의 전면에 투명 도전성금속을 증착하는 단계와;제 4 마스크로 상기 투명전극을 패터닝하여, 일측은 상기 드레인콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 접촉하고 타측은 상기 게이트배선의 일부와 겹쳐지는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 게이트배선을 이루는 도전성금속은 알루미늄과 알루미늄 합금과 은 합금과 구리등이 속한 저저항 금속그룹 중 선택된 하나인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 투명도전성 금속은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐 징크 옥사이드(IZO)와 인듐-틴-징크-옥사이드(ITZO)인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 식각 된 반도체측면을 산화시키는 과정에서 플라즈마 상태의 산소를 이용하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
5 4
제 1 항에 있어서, 상기 식각 된 반도체측면을 산화시키는 과정에서 플라즈마 상태의 산소를 이용하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.