| 1 |
1
적어도 하나 이상의 스위칭 소자가 집적되며, 상기 스위칭 소자에 신호를 인가하는 다수의 패드를 포함하고, 사다리꼴 단면의 형상으로 두께 d1의 나노블록을 구비하는 단계와;상기 나노블록과 대응하고, 상기 나노블록의 두께 d1의 보다 작은 깊이 d2의 내장홈이 형성된 기판을 구비하는 단계와;상기 나노블록을 상기 기판의 상기 내장홈에 안착하는 단계와;상기 나노블록이 안착된 상기 기판 상에 보호막을 형성하는 단계;를 포함하는 액정 표시장치용 어레이 기판 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 내장홈이 형성된 상기 기판을 구비하는 단계는, 투명한 유리기판을 구비하는 단계와; 상기 투명한 유리기판 상에 합성수지를 증착하는 단계와; 상기 합성수지를 패터닝하는 단계와;상기 투명한 유리기판을 식각하여 상기 내장홈을 형성하는 단계;를 포함하는 액정 표시장치용 어레이 기판 제조방법
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 나노블록을 상기 내장홈에 안착하기 전에 상기 내장홈이 형성된 상기 기판 상에 배선을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정 표시장치용 어레이 기판 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 나노블록은 평면적으로 대칭인 다각형 형상인 액정 표시장치용 어레이 기판 제조방법
|
| 6 |
6
기판과; 상기 기판 상에 형성되고, 사다리꼴 형상의 내장홈이 형성되며, 두께 d1을 가지는 제 1 절연층과; 적어도 하나 이상의 스위칭 소자가 집적되며, 상기 스위칭 소자에 신호를 인가하는 제 1 패드, 제 2 패드, 그리고 제 3 패드를 포함하고, 상기 내장홈과 대응하는 형태로 상기 내장홈에 안착되며, 상기 두께 d1보다 큰 두께 d2를 가지는 나노블록과; 상기 제 1 절연막 상에 형성된 제 1 배선과; 상기 나노블록을 포함한 상기 기판 상에 형성되며, 상기 나노블록의 제 1 패드, 제 2 패드, 제 3 패드, 그리고 상기 제 1 배선의 일부가 각각 노출된 제 1 콘택홀, 제 2 콘택홀, 제 3 콘택홀, 그리고 제 4 콘택홀을 갖는 제 2 절연층과; 상기 제 2 절연층 상에 형성되고, 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 제 1 패드와 접촉하는 제 1 인출배선을 갖는 제 2 배선과, 상기 제 2 콘택홀과 제 4 콘택홀을 통해 상기 제 2 패드 및 상기 제 1 배선과 동시에 접촉하는 제 2 인출배선과; 상기 제 3 콘택홀을 통해 상기 제 3 패드와 접촉하는 화소전극; 을 포함하는 액정 표시장치
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
청구항 6에 있어서, 상기 제 2 절연층은 BCB, 아크릴로 구성된 집단에서 선택한 물질인 액정 표시장치
|
| 9 |
9
청구항 6에 있어서, 상기 화소전극은 ITO, IZO로 구성된 집단에서 선택한 물질인 액정 표시장치
|
| 10 |
10
청구항 6에 있어서, 상기 나노블록은 평면적으로 대칭인 다각형 형상인 액정 표시장치
|
| 11 |
10
청구항 6에 있어서, 상기 나노블록은 평면적으로 대칭인 다각형 형상인 액정 표시장치
|
