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스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치

기술번호 : KST2015023586
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 후크 핀의 회전각도를 정확히 제어하여 기판 및 후크 핀의 파손을 방지함과 아울러 수리시간을 단축시킬 수 있도록 한 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치에 관한 것이다.이 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치는 베이스 플레이트 상에 고정되는 고정원판과, 고정원판 상에 회전가능하게 설치되는 회전원판과, 회전원판 상에 고정되어 기판이 안착되는 후크핀과, 회전 구동원으로부터의 회전동력에 따라 회전원판을 회전시키는 레버와, 회전원판의 회전범위를 규제하는 스토퍼 부재를 구비한다.본 발명에 의하면, 후크 핀의 회전각도를 정확히 제어할 수 있다.
Int. CL	C23C 14/34 (2006.01)
CPC	C23C 14/505(2013.01) C23C 14/505(2013.01)
출원번호/일자	1020000010787 (2000.03.03)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-0649721-0000 (2006.11.17)
공개번호/일자	10-2001-0086861 (2001.09.15) 문서열기
공고번호/일자	(20061124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2005.03.03)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	임태현	대한민국	경상북도구미시임

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김영호	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 , *층 (삼성동, 감령빌딩)(김영호국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2000.03.03	수리 (Accepted)	1-1-2000-0040778-11
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2001.05.17	수리 (Accepted)	4-1-2001-0059077-39
3	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2005.03.03	무효 (Invalidation)	1-1-2005-0113987-19
4	출원심사청구서 Request for Examination	2005.03.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0113938-93
5	출원심사청구서 Request for Examination	2005.03.03	불수리 (Non-acceptance)	1-1-2005-0113988-65
6	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2005.03.03	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2005-0113935-56
7	서류반려이유안내서 Notice of Reason for Return of Document	2005.03.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0014272-32
8	보정요구서 Request for Amendment	2005.03.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0014239-35
9	무효처분안내서 Notice for Disposition of Invalidation	2005.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0021108-27
10	서류반려안내서 Notification for Return of Document	2005.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0021109-73
11	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.04.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
12	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.05.15	수리 (Accepted)	9-1-2006-0029141-16
13	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.05.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0282871-22
14	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.07.18	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2006-0508233-12
15	의견서 Written Opinion	2006.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2006-0508243-68
16	등록결정서 Decision to grant	2006.10.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0623272-48
17	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
18	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
19	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
20	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 베이스 플레이트 상에 고정되는 고정원판과,상기 고정원판 상에 회전가능하게 설치되는 회전원판과,상기 회전원판 상에 고정되어 기판이 안착되는 후크핀과,회전 구동원으로부터의 회전동력에 따라 상기 회전원판을 회전시키는 레버와,상기 회전원판의 회전범위를 규제하는 스토퍼 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 스토퍼 부재는 상기 고정원판을 상기 베이스 플레이트 상에 고정시키기 위한 다수의 스크류중 어느하나인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크핀 제어장치
3	3 제 2 항에 있어서,상기 스토퍼 부재는 상기 스크류의 상부로 돌출되어 상기 레버의 저면보다 높은 높이를 가지는 돌기인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크핀 제어장치
4	4 제 3 항에 있어서, 상기 스토퍼 부재는 상기 레버의 선회각을 규제하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크핀 제어장치
5	5 제 4 항에 있어서,상기 스토퍼 부재는 상기 기판이 안착되는 기준위치에서부터 90 ° 내지 130 ° 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크핀 제어장치
6	6 제 4 항에 있어서,상기 스토퍼 부재는 상기 기판이 안착되는 기준위치에서부터 130 ° 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크핀 제어장치
7	7 베이스 플레이트 상에 고정되는 고정원판과,상기 고정원판 상에 회전가능하게 설치되는 회전원판과,상기 회전원판 상에 고정되어 상기 기판이 안착되는 후크핀과,회전 구동원으로부터의 회전동력에 따라 상기 회전원판을 회전시키는 레버와,상기 고정원판을 상기 베이스 플레이트 상에 고정함과 아울러 상기 레버의 저면보다 높은 높이로 돌출된 돌기에 의해 상기 레버의 선회각을 제한하는 스크류를 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0649721-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20000303 출원 번호 : 1020000010787 공고 연월일 : 20061124 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20061026 청구범위의 항수 : 7 유별 : C23C 14/34 발명의 명칭 : 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치 존속기간(예정)만료일 : 20191118

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	459,000 원	2006년 11월 20일	납입
제 4 년분	금 액	194,000 원	2009년 09월 22일	납입
제 5 년분	금 액	194,000 원	2010년 09월 29일	납입
제 6 년분	금 액	194,000 원	2011년 09월 15일	납입
제 7 년분	금 액	366,000 원	2012년 09월 28일	납입
제 8 년분	금 액	366,000 원	2013년 09월 30일	납입
제 9 년분	금 액	366,000 원	2014년 10월 21일	납입
제 10 년분	금 액	625,000 원	2015년 10월 28일	납입
제 11 년분	금 액	625,000 원	2016년 10월 12일	납입
제 12 년분	금 액	625,000 원	2017년 10월 16일	납입
제 13 년분	금 액	745,000 원	2018년 10월 15일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2000.03.03	수리 (Accepted)	1-1-2000-0040778-11
2	출원인정보변경(경정)신고서	2001.05.17	수리 (Accepted)	4-1-2001-0059077-39
3	명세서등보정서	2005.03.03	무효 (Invalidation)	1-1-2005-0113987-19
4	출원심사청구서	2005.03.03	수리 (Accepted)	1-1-2005-0113938-93
5	출원심사청구서	2005.03.03	불수리 (Non-acceptance)	1-1-2005-0113988-65
6	명세서등보정서	2005.03.03	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2005-0113935-56
7	서류반려이유안내서	2005.03.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0014272-32
8	보정요구서	2005.03.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0014239-35
9	무효처분안내서	2005.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0021108-27
10	서류반려안내서	2005.04.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2005-0021109-73
11	선행기술조사의뢰서	2006.04.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
12	선행기술조사보고서	2006.05.15	수리 (Accepted)	9-1-2006-0029141-16
13	의견제출통지서	2006.05.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0282871-22
14	명세서등보정서	2006.07.18	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2006-0508233-12
15	의견서	2006.07.18	수리 (Accepted)	1-1-2006-0508243-68
16	등록결정서	2006.10.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0623272-48
17	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
18	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
19	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
20	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95


기술번호	KST2015023586
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치
기술개요	본 발명은 후크 핀의 회전각도를 정확히 제어하여 기판 및 후크 핀의 파손을 방지함과 아울러 수리시간을 단축시킬 수 있도록 한 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치에 관한 것이다.이 스퍼터링 장치의 후크 핀 제어장치는 베이스 플레이트 상에 고정되는 고정원판과, 고정원판 상에 회전가능하게 설치되는 회전원판과, 회전원판 상에 고정되어 기판이 안착되는 후크핀과, 회전 구동원으로부터의 회전동력에 따라 회전원판을 회전시키는 레버와, 회전원판의 회전범위를 규제하는 스토퍼 부재를 구비한다.본 발명에 의하면, 후크 핀의 회전각도를 정확히 제어할 수 있다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
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