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액정표시장치용 어레이기판 제조방법

  • 기술번호 : KST2015023601
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요약 본 발명은 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법에 관한 것이며, 특히 소자 산포방식을 사용한 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법에 관한 것으로, 기판에 나노블럭 단위의 스위칭소자를 배치하기 위한 계단식 측면을 갖는 홈 형태의 리셉터(receptor)를 제작함에 있어서, 상기 기판에 마스크물질로 투명금속 산화막을 증착하고, 이를 마스크로 하여 상기 기판을 식각하면, 상기 투명금속과 함께 측면이 계단식 형상을 갖는 식각홈을 제작할 수 있음으로, 1 단계의 마스크 공정만으로 상기 리셉터를 제작하는 것이 가능함으로 공정단순화의 효과가 있다.
Int. CL G02F 1/136 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01)
CPC H01L 24/95(2013.01) H01L 24/95(2013.01) H01L 24/95(2013.01) H01L 24/95(2013.01) H01L 24/95(2013.01) H01L 24/95(2013.01)
출원번호/일자 1020000008329 (2000.02.21)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0658976-0000 (2006.12.12)
공개번호/일자 10-2001-0082849 (2001.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20061218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.02.03)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서현식 대한민국 경기도군포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2000-0031759-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2005.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0066233-21
4 대리인 변경 신고서
Agent change Notification
2005.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0066232-86
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0336126-36
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0579463-48
7 의견서
Written Opinion
2006.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2006-0661289-57
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.09.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0661287-66
9 등록결정서
Decision to grant
2006.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0736385-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
게이트전극과 드레인전극과 소스전극을 포함하는 스위칭소자와 캐패시터가 구성된 나노블럭를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법에 있어서,기판을 준비하는 단계와;상기 기판 상에 투명한 산화금속층을 증착하는 단계와;상기 산화금속층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계와;상기 포토레지스트가 코팅된 상기 기판 상에 포토마스크를 배치하고 노광하는 단계와;상기 포토마스크에 의해 노광되지 않은 상기 포토레지스트를 제거하는 단계와;상기 포토레지스트가 제거되고 노출된 상기 투명한 산화금속층을 식각하여 상기 기판을 노출하는 단계와;노광된 상기 포토레지스트를 제거하는 단계와;식각되지 않는 상기 산화금속층을 마스크로하여 상기 산화금속층과 접촉하는 부분이 돌출형상이 되도록 상기 기판의 측면을 과도하게 식각하여 식각홈을 형성하는 단계와;상기 식각홈에 상기 나노블록을 배치하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 투명한 산화 금속층은 인듐-틴-옥사이드, 인듐-징크-옥사이드, 산화알루미늄으로 구성된 산화금속 그룹 중 선택된 하나인 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 투명한 산화 금속층은 건식식각에 의해 식각되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,식각되지 않는 상기 산화금속층을 마스크로하여 상기 산화금속층과 접촉하는 부분이 돌출형상이 되도록 상기 기판의 측면을 과도하게 식각하여 식각홈을 형성하는 단계에서, 상기 기판의 일부는 습식식각에 의해 식각되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
5 5
게이트전극과 드레인전극과 소스전극을 포함하는 스위칭소자와 캐패시터가 구성된 나노블럭을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법에 있어서,기판을 준비하는 단계와;상기 기판 상에 빛에 감광되는 투명한 산화 금속층을 증착하는 단계와;상기 투명한 산화 금속층 상에 포토마스크를 배치하고 노광하는 단계와;노광된 상기 산화 금속층을 식각하여 상기 기판을 노출하는 단계와;식각되지 않은 상기 산화 금속층을 마스크로하여 상기 산화 금속층과 접촉하는 부분이 돌출형상이 되도록 상기 기판의 측면을 과도하게 식각하여 식각홈을 형성하는 단계와;상기 식각홈에 상기 나노블록을 배치하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 투명한 산화 금속층은 솔벤트 및 빛에 반응하는 물질이 혼합되어 만들어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 투명한 산화 금속층은 건식식각에 의해 식각되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
8 8
제 5 항에 있어서,식각되지 않은 상기 산화 금속층을 마스크로하여 상기 산화 금속층과 접촉하는 부분이 돌출형상이 되도록 상기 기판의 측면을 과도하게 식각하여 식각홈을 형성하는 단계에서, 상기 기판의 일부는 습식식각에 의해 식각되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
9 8
제 5 항에 있어서,식각되지 않은 상기 산화 금속층을 마스크로하여 상기 산화 금속층과 접촉하는 부분이 돌출형상이 되도록 상기 기판의 측면을 과도하게 식각하여 식각홈을 형성하는 단계에서, 상기 기판의 일부는 습식식각에 의해 식각되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.