| 요약 |
본 발명은 빛 샘을 방지하여 콘트라스트 레이티오(contrast ratio)를 향상시키고, 마이크로브릿지 형성에 따른 지지부의 공정 안정성을 확보할 수 있는 미세 광 변조기를 이용한 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 미세 광 변조기를 이용한 디스플레이 장치는 기판과, 상기 기판상에서 일정 간격을 갖고 일 방향으로 형성된 복수개의 고정 전극들과, 상기 고정 전극들을 에워싸며 형성되고 인접한 고정 전극들과 오버랩되는 가동 전극을 포함하여 구성되고, 본 발명에 따른 미세 광 변조기를 이용한 디스플레이 장치 제조방법은 기판상에 일정 간격을 갖고 일 방향으로 복수개의 고정 전극들을 형성하는 공정과, 상기 고정 전극들의 양쪽 끝단을 소정 부분 제거하는 공정과, 상기 고정 전극들을 포함한 상기 기판상에 희생층을 형성하는 공정과, 상기 희생층상에 고정 전극들의 주변을 에워싸는 형태로 가동 전극을 패터닝하는 공정과, 상기 희생층을 제거하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 가동 전극, 고정 전극, MEMS
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