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반도체 장치의 정렬키

  • 기술번호 : KST2015023848
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요약 본 발명은 설계 효율을 향상시키는데 적당한 반도체 장치의 정렬키에 관한 것으로 계측기구의 현미경 배율에 따라서 다양한 크기를 갖는 정렬키에 있어서, 마스크상에 소정위치에 양각으로 형성되는 제 1 정렬키와, 상기 제 1 정렬키에 중첩되고 음각으로 형성되는 제 2 정렬키를 포함하여 구성된다. 정렬키(Alignment Key)
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC G03F 9/7073(2013.01) G03F 9/7073(2013.01) G03F 9/7073(2013.01)
출원번호/일자 1020000043980 (2000.07.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0685913-0000 (2007.02.15)
공개번호/일자 10-2002-0010323 (2002.02.04) 문서열기
공고번호/일자 (20070223) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박철우 대한민국 대구광역시남구
2 이형석 대한민국 경상북도경산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-0159527-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2005.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0407432-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0483090-95
5 의견서
Written Opinion
2006.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0763373-54
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.10.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0763371-63
7 등록결정서
Decision to grant
2007.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0015632-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마스크상에 소정위치에 양각으로 형성되는 제 1 정렬키와, 상기 제 1 정렬키에 중첩되고 음각으로 형성되는 제 2 정렬키를 구비함을 특징으로 하는 반도체 장치의 정렬키
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제 1 정렬키가 상기 제 2 정렬키보다 상대적으로 큰 사이즈를 갖음을 특징으로 하는 반도체 장치의 정렬키
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제 1 정렬키가 상기 제 2 정렬키보다 상대적으로 작은 사이즈를 갖음을 특징으로 하는 반도체 장치의 정렬키
4 3
제 1항에 있어서, 상기 제 1 정렬키가 상기 제 2 정렬키보다 상대적으로 작은 사이즈를 갖음을 특징으로 하는 반도체 장치의 정렬키
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.