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TFT-LCD 패널 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015023851
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요약 본 발명은 TFT-LCD 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정이 주입된 TFT-LCD 패널에 있어서, 상기 제 1 기판 상에 형성된 복수의 칼라필터 패턴; 상기 칼라필터 패턴 상에 형성된 절연막; 상기 절연막 상에 형성된 베리어층; 상기 베리어층 상에 구리로 이루어진 게이트 전극을 갖고 형성된 박막 트랜지스터를 포함하여 구성되며, 절연막을 O2 플라즈마 등의 분위기에서 산화처리하여 베리어층을 형성함으로써 절연막과 박막 트랜지스터의 게이트 전극간의 접착력을 높이고, 또한 게이트 전극 물질로 구리를 이용함으로써 저저항 배선을 할 수 있다. BCB, 플라즈마
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01)
출원번호/일자 1020000060568 (2000.10.14)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0662488-0000 (2006.12.21)
공개번호/일자 10-2002-0029841 (2002.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (20070102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.04)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황광조 대한민국 경기도안양시동안구
2 서현식 대한민국 경기도안양시동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2000-0215949-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.10.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0560743-59
4 출원심사청구서
Request for Examination
2005.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0560756-42
5 보정요구서
Request for Amendment
2005.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0099724-93
6 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)
2005.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0100979-43
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0072785-96
9 등록결정서
Decision to grant
2006.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0682238-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정이 주입된 TFT-LCD 패널에 있어서, 상기 제 1 기판 상에 형성된 복수의 칼라필터 패턴;상기 칼라필터 패턴 상에 형성된 절연막;상기 절연막 상에 형성된 베리어층;상기 베리어층 상에 구리로 이루어진 게이트 전극을 갖고 형성된 박막 트랜지스터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 베리어층은 절연막임을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 절연막은 BCB(벤조싸이클로부텐)임을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 박막 트랜지스터는 상기 베리어층 상에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 형성된 채널층; 상기 채널층 상에 형성된 소스 및 드레인 전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널
5 5
삭제
6 6
제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정이 주입된 TFT-LCD 패널 제조에 있어서, 상기 제 1 기판 상에 복수의 칼라필터 패턴을 형성하는 단계;상기 칼라필터 패턴 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 상에 베리어층을 형성하는 단계;상기 베리어층 상에 구리로 이루어진 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 베리어층은 상기 절연막의 표면을 산화처리하여 형성됨을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 산화처리는 O2 플라즈마 분위기에서 실시함을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 제조 방법
9 9
제 6 항에 있어서, 제 1 기판 상에 빛을 차광하기 위한 블랙 메트릭스를 메트릭스 형태로 형성하는 공정을 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 베리어층은상기 절연막의 표면을 O2 플라즈마 분위기에서 산화 처리하여 형성된 층인 것을 특징으로 하는 TFT-LCD 패널
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.