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세정 장치

  • 기술번호 : KST2015023897
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤 브러시에 순수를 공급받아 방출할 수 있는 내부 공간과 다수의 동공을 구비함으로써 공정을 단순화시키고 세정력을 증대시키는 세정 장치에 관한 것으로서, 특히 롤 브러시를 구비한 세정장치에 있어서, 상기 롤 브러시는 다수의 동공을 가지는 브러시 유닛과, 상기 브러시 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 롤 브러시, 세정, 캐비테이션 제트 유닛
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01)
출원번호/일자 1020000085762 (2000.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0685919-0000 (2007.02.15)
공개번호/일자 10-2002-0056409 (2002.07.10) 문서열기
공고번호/일자 (20070222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.26)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤헌도 대한민국 대구광역시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-0286439-40
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination		 2005.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0609851-64
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.10.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0609850-18
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0432017-98
6 의견서
Written Opinion		 2006.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0704622-12
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.09.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0704619-74
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0060258-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 세정하기 위해 롤 브러시를 구비한 세정장치에 있어서, 상기 롤 브러시는 다수의 동공을 가지는 브러시 유닛;상기 브러시 유닛 표면에 부착되고 상기 기판에 접촉되는 포털;상기 브러시 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 세정 장치는 세정할 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시; 상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시켜 주는 구동모터;상기 기판을 이동시켜 주는 반송 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 롤 브러시는 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 브러시 유닛의 동공을 통해 세정수가 방출되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 세정 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 롤 브러시에서 방출되는 세정수의 수압은 공급관의 수압, 상기 동공의 크기, 동공의 수 또는 롤 브러시의 회전력에 의존하는 것을 특징으로 하는 세정 장치
6 6
세정 장치의 롤 브러시에 있어서, 다수의 동공을 가지는 브러시 유닛; 상기 브러시 유닛 내부에 장착되어 다수의 동공을 가지는 캐비테이션 유닛; 상기 캐비테이션 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 세정 장치는 세정할 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시;상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시켜 주는 구동모터;상기 기판을 이동시켜 주는 반송 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 브러시 유닛은 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 캐비테이션 유닛은 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 캐비테이션 유닛은 상기 브러싱 유닛과 서로 무관한 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
11 11
제 6 항에 있어서, 상기 브러시 유닛과 캐비테이션 유닛의 동공을 통해 세정수가 방출되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
12 12
제 6 항에 있어서, 상기 롤 브러시에서 방출되는 세정수의 수압은 공급관의 수압, 상기 동공의 크기, 동공의 수, 브러시의 유닛의 회전력 또는 캐비테이션 유닛의 회전력에 의존하는 것을 특징으로 하는 세정 장치
13 12
제 6 항에 있어서, 상기 롤 브러시에서 방출되는 세정수의 수압은 공급관의 수압, 상기 동공의 크기, 동공의 수, 브러시의 유닛의 회전력 또는 캐비테이션 유닛의 회전력에 의존하는 것을 특징으로 하는 세정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.