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식각 장비의 약액 교환 장치 및 교환 방법

  • 기술번호 : KST2015023925
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 장비 운전의 중단 없이 약액을 교환할 수 있는 식각 장비의 약액 교환장치 및 교환 방법을 제공하기 위한 것으로 본 발명의 약액 교환 장치는 감광제의 스트립이 진행되는 제 1, 제 2 스트립 실과, 제 1, 제 2 스트립 실에 약액 공급을 위한 제 1, 제 2 탱크 및 상기 제 1, 제 2 탱크에 의한 약액 공급시 약액 교환이 이루어지며 상기 제 1, 제 2 탱크 중 어느 한 탱크의 약액 교환시 대신하여 해당 스트립 실에 약액을 공급하는 제 3 탱크와, 상기 제 1, 제 2, 제 3 탱크에 선택적으로 약액을 공급하는 제 4 탱크와, 상기 제 1, 제 2, 제 3 탱크와 각 스트립 실 사이에서 선택적으로 약액의 공급 및 배출을 제어하는 공급 밸브와 배출 밸브 그리고 탱크의 약액을 펌핑하는 펌프를 포함하여 구성되고, 본 발명의 약액 교환 방법은 3개의 저장탱크와 1개의 버퍼탱크를 구비한 감광제 스트립을 위한 약액 공급장치의 약액 공급방법에 있어서, 상기 버퍼탱크에 저장된 약액을 3개의 저장탱크 중 동작하지 않는 탱크에 선택적으로 약액을 교환 공급하고, 동작중인 2개의 탱크 중 어느 하나가 약액 교환시점이 되면 상기 약액이 교환된 탱크가 대신하여 스크립 실에 약액을 공급하는 것을 특징으로 한다. 스크립(Scrip), 약액
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020000085568 (2000.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0640990-0000 (2006.10.25)
공개번호/일자 10-2002-0056246 (2002.07.10) 문서열기
공고번호/일자 (20061106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원재 대한민국 경상북도구미시상

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-0285979-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.10.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0591628-22
4 출원심사청구서
Request for Examination		 2005.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0591629-78
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0056474-26
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0565841-78
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
1 1
감광제의 스트립이 진행되는 제 1, 제 2 스트립 실; 제 1, 제 2 스트립 실에 약액 공급을 위한 제 1, 제 2 탱크 및 상기 제 1, 제 2 탱크에 의한 약액 공급시 약액 교환이 이루어지며 상기 제 1, 제 2 탱크 중 어느 한 탱크의 약액 교환시 대신하여 해당 스트립 실에 약액을 공급하는 제 3 탱크; 상기 제 1, 제 2, 제 3 탱크에 선택적으로 약액을 공급하는 제 4 탱크; 상기 제 1, 제 2, 제 3 탱크와 각 스트립 실 사이에서 선택적으로 약액의 공급 및 배출을 제어하는 공급 밸브와 배출 밸브 그리고 탱크의 약액을 펌핑하는 펌프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 식각 장비의 약액 교환 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 각 탱크와 각 스트립 실 사이에 연결된 공급 및 배출 밸브 그리고 펌프들은 해당 탱크가 약액을 교환중일 때는 오프(OFF) 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 식각 장비의 약액 교환 장치
3 3
3개의 저장탱크와 1개의 버퍼탱크를 구비한 감광제 스트립을 위한 약액 공급장치의 약액 공급방법에 있어서, 상기 버퍼탱크에 저장된 약액을 3개의 저장탱크 중 동작하지 않는 탱크에 선택적으로 약액을 교환 공급하고, 동작중인 2개의 탱크 중 어느 하나가 약액 교환시점이 되면 상기 약액이 교환된 탱크가 대신하여 스크립 실에 약액을 공급하는 것을 특징으로 하는 식각 장비의 스트립 약액 교환 방법
4 3
3개의 저장탱크와 1개의 버퍼탱크를 구비한 감광제 스트립을 위한 약액 공급장치의 약액 공급방법에 있어서, 상기 버퍼탱크에 저장된 약액을 3개의 저장탱크 중 동작하지 않는 탱크에 선택적으로 약액을 교환 공급하고, 동작중인 2개의 탱크 중 어느 하나가 약액 교환시점이 되면 상기 약액이 교환된 탱크가 대신하여 스크립 실에 약액을 공급하는 것을 특징으로 하는 식각 장비의 스트립 약액 교환 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.