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제 1, 2 열전쌍이 설치된 서셉터

  • 기술번호 : KST2015023956
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 일반적인 박막증착장치에 사용되는, 구동가능한 지지봉에 고정 설치된 서셉터(susceptor)의 내히터와 외히터의 온도감지를 위한 열전쌍(thermocouple)에 있어서, 지지봉의 구동에 의하여 전원케이블과 열전쌍의 연결부위가 쉽게 파손되고, 이의 교체 및 수리작업이 용이하지 않는 문제를 해결하기 위하여, 열전쌍과 전원케이블의 연결부위를 내부에 탄성이 있는 재질로 충진된 튜브로 보호하고, 이러한 내 외히터의 열전쌍을 지지봉의 일측에 중복 배치함으로써 물리적 충격에 의한 파손의 위험이 적고, 교체 및 수리작업이 용이한 개선된 열전쌍을 포함하는 서셉터를 제공한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68714(2013.01) H01L 21/68714(2013.01) H01L 21/68714(2013.01)
출원번호/일자 1020000083766 (2000.12.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0689695-0000 (2007.02.26)
공개번호/일자 10-2002-0054612 (2002.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20070308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.09.14)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배영호 대한민국 경상북도칠곡군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2000-0282855-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination		 2005.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0514771-15
4 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2005.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0514770-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0608406-73
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.12.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0944042-03
7 의견서
Written Opinion		 2006.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0944043-48
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0104119-21
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서셉터 본체와;상기 서셉터 본체의 내부에 설치되는 제 1 히터와;상기 서셉터 본체의 내부에 설치되며, 상기 제 1 히터의 외각에 배치되는 제 2 히터와;상기 서셉터본체의 일측에 회전가능하게 연결된 지지봉과;상기 지지봉의 일단에 위치하고 상기 지지봉을 회전시키는 모터와;상기 지지봉의 타단에 위치하고, 상기 제 1 히터 및 외부전원과 연결된 제 1 열전쌍과;상기 지지봉의 타단에 위치하고, 상기 제 2 히터 및 외부전원과 연결된 제 2 열전쌍을 포함하는 서셉터
2 2
청구항 1에 있어서,상기 제 1 열전쌍 및 상기 제 2 열전쌍을 감싸는 튜브형상의 제 1 보호부를 더욱 포함하는 서셉터
3 3
청구항 2에 있어서,상기 제 1 보호부와 상기 제 1 열전쌍 및 상기 제 2 열전쌍 사이에는 실리콘이 충진된 서셉터
4 4
청구항 2에 있어서, 상기 제 1 보호부는 비닐튜브인 서셉터
5 5
청구항 2에 있어서,상기 제 1 열전쌍 및 상기 제 2 열전쌍과 상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터를 연결하는 배선은 상기 제 1 보호부의 일단에 위치하고, 상기 외부전원과 각각 연결되는 배선은 상기 제 1 보호부의 타단에 위치한 서셉터
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 외부전원과 연결되는 배선이 위치한 제 1 보호부의 타단에 상기 각 배선을 보호하는 원뿔형상의 제 2 보호부를 더욱 포함하는 서셉터
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 제 2 보호부는 실리콘 비닐인 서셉터
8 7
청구항 6에 있어서, 상기 제 2 보호부는 실리콘 비닐인 서셉터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.