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세정 장치

  • 기술번호 : KST2015023993
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요약 본 발명은 롤 브러시를 회전과 동시에 진동시킴으로써 롤 브러시 포결의 치우침을 방지하여 세정력을 증대시키는 세정 장치에 관한 것으로서, 특히 기판을 세정하는 세정 장치에 있어서, 상기 기판을 이송시키는 복수의 반송 롤러; 상기 기판 상에 세정수를 분사하는 샤워; 상기 기판의 전면에 설치되어 회전함과 동시에 진동하여 상기 기판의 전면을 세정하는 복수의 제 1 롤 브러시; 상기 복수의 제 1 롤 브러시 각각에 대응되도록 상기 기판의 배면에 설치되어 회전함과 동시에 진동하여 상기 기판의 배면을 세정하는 복수의 제 2 롤 브러시; 상기 제 1 롤 브러시와 상기 제 2 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 서로 다른 방향으로 회전축에 평행하게 진동시키기 위한 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 롤 브러시, 세정력, 진동
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01)
출원번호/일자 1020000083063 (2000.12.27)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0720437-0000 (2007.05.15)
공개번호/일자 10-2002-0053427 (2002.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20070522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재우 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2000-0281465-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2005.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0609849-72
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.10.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0609848-26
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0050559-79
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0491870-23
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.10.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0792274-12
9 의견서
Written Opinion
2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0792276-03
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0016253-44
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.03.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2007-0009511-14
12 등록결정서
Decision to grant
2007.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0199620-99
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판을 세정하는 세정 장치에 있어서, 상기 기판을 이송시키는 복수의 반송 롤러;상기 기판 상에 세정수를 분사하는 샤워;상기 기판의 전면에 설치되어 회전함과 동시에 진동하여 상기 기판의 전면을 세정하는 복수의 제 1 롤 브러시; 상기 복수의 제 1 롤 브러시 각각에 대응되도록 상기 기판의 배면에 설치되어 회전함과 동시에 진동하여 상기 기판의 배면을 세정하는 복수의 제 2 롤 브러시; 상기 제 1 롤 브러시와 상기 제 2 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 서로 다른 방향으로 회전축에 평행하게 진동시키기 위한 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치
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패밀리정보가 없습니다
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