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식각장치 및 식각방법

  • 기술번호 : KST2015024025
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요약 본 발명은 디핑 방식 식각장치에 관한 것이다. 디핑 방식으로 기판 상의 박막을 식각할 경우, 시간이 지남에 따라 비중이 높은 식각액이 하부로 가라앉게 되어 식각액의 상부와 하부에서 농도가 다르게 된다. 이에 따라 상부와 하부의 식각되는 정도가 다른 문제가 발생한다. 또한, 식각액 내의 기포가 기판 상에 위치할 경우 식각을 방해하여 불량이 발생한다. 본 발명에서는 식각용기 내부에 회전 가능한 교반 장치를 설치하여 식각 공정 중에 교반 장치를 회전시킨다. 이에 따라 식각액이 대류함으로써 농도가 균일하게 유지되고, 식각액 내의 기포는 제거되거나 식각액의 표면으로 이동되어 식각 불량을 방지할 수 있다. 식각장치, 디핑 방식, 교반 장치
Int. CL H01L 21/3063 (2006.01)
CPC H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01) H01L 21/67086(2013.01)
출원번호/일자 1020000077423 (2000.12.16)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0712472-0000 (2007.04.23)
공개번호/일자 10-2002-0048128 (2002.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20070427) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.08.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노병태 대한민국 서울특별시성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2000-0269032-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 출원심사청구서
Request for Examination
2005.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0455700-66
4 대리인변경신고서
Agent change Notification
2005.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0455699-07
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0056469-08
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0565845-50
8 의견서
Written Opinion
2006.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0871049-21
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0871048-86
10 등록결정서
Decision to grant
2007.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0208351-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
개폐가능한 상부 개구부 및 하부 개구부가 설치된 식각용기;상기 상부 개구부와 연결되며, 건조가스를 공급하는 제 1 공급관;상기 하부 개구부와 연결되며, 식각액을 공급하는 제 2 공급관;상기 제 2 공급관과 연결되어 있고, 세정액을 공급하는 제 3 공급관;상기 제 1 공급관과 연결되어 있고, 상기 식각액과 상기 세정액를 배출하는 제 1 배출관;상기 제 2 공급관과 연결되어 있고, 상기 건조가스를 배출하는 제 2 배출관;상기 식각용기의 내부에 상기 식각액을 공급하고, 상기 상부개구부 및 상기 하부개구부를 밀폐한 후에, 상기 식각액을 일정한 농도로 유지하도록 대류시키기 위해, 상기 하부 개구부에 위치하고 회전가능한 교반장치;상기 식각용기의 외부에서 상기 교반장치를 제어하는 교반 장치구동부;를 포함하는 식각장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 교반장치는 나사 또는 프로펠러 모양으로 이루어진 식각장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 건조 가스는 아이소프로필 알코올인 식각장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 세정액은 초순수인 식각장치
5 5
회전가능한 교반장치가 내부에 설치되어 있는 식각용기에 다수 개의 기판을 안치시키는 단계;상기 다수 개의 기판이 잠기도록 상기 식각용기의 내부에 식각액을 주입하는 단계;상기 교반장치의 회전에 의해 상기 식각액을 대류시키면서 상기 다수 개의 기판을 식각하는 단계;상기 식각용기로부터 상기 식각액을 배출하는 단계;상기 식각용기 내부에 세정액을 주입하여 상기 식각용기 내부 및 상기 다수개의 기판을 세정하는 단계;상기 식각용기로부터 상기 세정액을 배출하는 단계;를 포함하는 식각방법
6 5
회전가능한 교반장치가 내부에 설치되어 있는 식각용기에 다수 개의 기판을 안치시키는 단계;상기 다수 개의 기판이 잠기도록 상기 식각용기의 내부에 식각액을 주입하는 단계;상기 교반장치의 회전에 의해 상기 식각액을 대류시키면서 상기 다수 개의 기판을 식각하는 단계;상기 식각용기로부터 상기 식각액을 배출하는 단계;상기 식각용기 내부에 세정액을 주입하여 상기 식각용기 내부 및 상기 다수개의 기판을 세정하는 단계;상기 식각용기로부터 상기 세정액을 배출하는 단계;를 포함하는 식각방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.