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액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015024034
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 액정 표시 장치용 어레이 기판은 통상적으로 5장 내지 6장의 마스크를 이용하여 제조되는데, 마스크 수를 적게 하여 제조함으로써 제조 비용을 감소시키는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 보호층과 액티브층의 한번의 사진 식각 공정으로 형성하는데 있어서, 게이트 링크부에서 단선이 일어나는 것을 방지하기 위해 게이트 링크부 상에 화소 전극이나 보호층과 동일한 물질로 보호 패턴을 형성한다. 따라서, 마스크 수가 감소되어 제조 비용을 줄이면서 게이트 링크부의 단선을 방지할 수 있다. 한편, 보호 패턴을 화소 전극과 동일한 물질로 형성할 경우에는 단선이 발생하였을 때 레이저로 게이트 링크부와 보호 패턴을 단락시켜 단선을 수리할 수도 있다. 4마스크, 단선, 핀홀, 게이트 링크
Int. CL G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01)
출원번호/일자 1020000086438 (2000.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0694576-0000 (2007.03.07)
공개번호/일자 10-2002-0058369 (2002.07.12) 문서열기
공고번호/일자 (20070313) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.14)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최승규 대한민국 대구광역시북구
2 소재문 대한민국 경상북도구미시임
3 김종우 대한민국 경상북도구미시원

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-0287389-23
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2001-0059077-39
3 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2005.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0582214-23
4 출원심사청구서
Request for Examination		 2005.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0582215-79
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0657508-69
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0009991-10
7 의견서
Written Opinion		 2007.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-0009992-55
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0122523-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 형성된 다수의 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트 배선의 일 끝단에 위치하는 게이트 패드 및 상기 게이트 배선과 상기 게이트 패드를 연결하는 게이트 링크부;상기 게이트 배선과 상기 게이트 전극, 상기 게이트 패드 및 상기 게이트 링크부 상에 형성되는 게이트 절연막;상기 게이트 전극과 대응되는 상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 반도체층 및 상기 반도체층 상의 오믹 콘택층;상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 상기 소스 전극 맞은편에 위치하는 드레인 전극, 상기 데이터 배선의 일끝단에 위치하는 데이터 패드;상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 형성되어 있고, 상기 드레인 전극을 노출시키는 콘택홀을 가지는 보호층;상기 화소 영역에 형성되어 있으며, 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극;상기 게이트 링크부와 대응되는 상기 게이트 절연막 상에 형성되는 보호 패턴;을 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판
2 2
제 1 항에 있어서,상기 보호 패턴은 상기 화소 전극과 동일한 투명 도전 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판
3 3
제 1 항에 있어서,상기 보호 패턴은 상기 반도체층과 상기 보호층을 형성하는 절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판
4 4
기판을 구비하는 단계;상기 기판 위에 다수의 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트 배선의 일 끝단에 위치하는 게이트 패드 및 상기 게이트 배선과 상기 게이트 패드를 연결하는 게이트 링크부를 형성하는 단계;상기 게이트 배선을 포함한 상기 기판 상에 게이트 절연막, 비정질 실리콘층, 불순물 비정질 실리콘층 및 금속층을 순차적으로 증착하는 단계;상기 금속층과 상기 불순물 비정질 실리콘을 패터닝하여 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 상기 소스 전극 맞은편에 위치하는 드레인 전극, 상기 데이터 배선의 일 끝단에 위치하는 데이터 패드 및 오믹 콘택층을 형성하는 단계;상기 데이터 배선을 포함한 상기 기판 상에 절연 물질을 증착하고, 상기 절연 물질과 상기 반도체층을 패터닝하여 보호층 및 액티브층을 형성하는 단계;상기 화소 영역 상에 상기 콘택홀을 통하여 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극과, 상기 게이트 링크부와 대응되는 상기 게이트 절연막 상에 보호 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 보호 패턴은 상기 화소 전극과 투명 도전 물질로 동일한 공정에서 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 보호 패턴은 상기 반도체층과 상기 보호층을 형성하는 절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판의 제조 방법
7 6
제 4 항에 있어서,상기 보호 패턴은 상기 반도체층과 상기 보호층을 형성하는 절연막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.