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수직형 세정장치

  • 기술번호 : KST2015024139
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요약 본 발명 수직형 세정장치는 로딩부(102)와 언로딩부(103)가 일렬로 배치되고, 그 로딩/언로딩부(102)(103)의 일측에 이송로봇(108)이 배치되며, 그 이송로봇(108)의 주변에 UV 유니트(104), 버퍼유니트(105), 세척부(106), 건조유니트(107)가 일렬로 나열설치되고, 상기 세척부(106)는 브러싱 유니트(111), 샤워 유니트(112), 초음파 유니트(113)가 수직으로 배치되어 있으며, 그 초음파 유니트(113)에서 건조유니트(107)로 기판(G)을 이송하는 방수 로봇(109)으로 구성되어 있어서, 세척부(106)가 수직으로 배열됨에 따라 설비의 설치공간이 감소되고, 그에 따른 공간이용효율이 향상된다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020010026483 (2001.05.15)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0763168-0000 (2007.09.27)
공개번호/일자 10-2002-0087637 (2002.11.23) 문서열기
공고번호/일자 (20071016) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박일룡 대한민국 경상북도구미시비

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-0112463-91
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2006-0331131-57
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0331133-48
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0012400-84
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0157453-97
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.05.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0384935-14
8 의견서
Written Opinion
2007.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0384933-12
9 등록결정서
Decision to grant
2007.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0415772-21
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 수납되는 카세트들이 배치된 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부의 일측에 설치된 이송 로봇과; 및상기 이송 로봇의 주변에 일렬로 배치된 UV 유니트, 버퍼 유니트, 세척부 및 건조 유니트를 포함하며,상기 세척부는 차례로 수직으로 배열된 브러싱 유니트, 샤워 유니트, 및 초음파 유니트를 포함하고, 상기 브러싱 유니트는 기판에 고착된 이물질을 탈착시키고, 상기 샤워 유니트는 기판에 순수를 분사하여 상기 브러싱 유니트에 의하여 탈락된 이물질을 제거하며, 상기 초음파 유니트는 초음파를 이용하여 기판에 잔존하는 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 세척부에는 기판을 수직방향으로 이송하기 위한 암과 리드스크류가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 세척부의 일측에 위치하여 상기 세척부에서 세척된 기판을 상기 건조 유니트로 이동하는 방수 로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치
5 4
제 1항에 있어서, 상기 세척부의 일측에 위치하여 상기 세척부에서 세척된 기판을 상기 건조 유니트로 이동하는 방수 로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.