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기판 세정장비의 브러싱장치

  • 기술번호 : KST2015024192
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요약 본 발명 기판 세정장비의 브러싱장치는 케이스(101)의 내부에 기판(G)을 이송하는 이송 롤러(102)들이 설치되어 있고, 그 이송 롤러(102)들의 상부에 순수(103)를 분사하기 위한 노즐(104)이 설치되어 있으며, 그 노즐(104)과 이송 롤러(102)의 사이에는 기판(G)을 브러싱하기 위한 브러시(105)가 설치되어 있고, 상기 본체 케이스(101)의 외측에 브러시(105)를 회전시키기 위한 모터(106)가 설치되어 있으며, 그 모터(106)의 반대쪽에 브러시(105)를 좌,우이동시키기 위한 좌우이동기구(110)가 설치되어서 구성되어, 모터(106)의 회전력에 의하여 브러시(105)가 회전함과 동시에 좌우이동기구(110)에 의하여 좌,우로 반복이동하도록 함으로써, 이물질들이 확실하게 제거되고, 세정후에도 얼룩이 남지 않게 된다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01) H01L 21/67046(2013.01)
출원번호/일자 1020010029270 (2001.05.26)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0825310-0000 (2008.04.21)
공개번호/일자 10-2002-0090274 (2002.12.02) 문서열기
공고번호/일자 (20080428) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김일식 대한민국 대구광역시동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0123926-86
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0374108-58
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0374111-96
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.02.09 수리 (Accepted) 9-1-2007-0007392-88
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0169395-62
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.05.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0390291-05
8 의견서
Written Opinion
2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0390285-20
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0524531-69
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0859334-92
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0859445-51
12 등록결정서
Decision to grant
2008.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0163732-51
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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본체 케이스와, 상기 본체 케이스의 내부에 설치되어, 기판을 이송하는 이송 롤러들과, 상기 이송 롤러들의 상부에 설치되어, 상기 이송되는 기판의 상면에 순수를 분사하기 위한 노즐과,상기 노즐과 상기 이송 롤러의 사이에 설치되며, 회전축이 회전되면서 상기 이송되는 기판을 브러싱하기 위한 브러시와, 상기 브러시의 회전축을 회전구동하기 위한 모터와, 상기 회전되는 브러시를 좌우방향으로 이동시키기 위한 좌우이동기구를 포함하고,상기 좌우이동기구는 상기 회전축의 돌출단부에 형성되되, 상기 회전축의 외주면을 따라 경사지게 형성된 띠홈부와, 상기 본체 케이스의 외측면에 고정설치되되, 단부가 상기 띠홈부에 삽입된 안내봉으로 구성되며, 상기 브러시가 회전을 하면 상기 띠홈부가 상기 고정된 안내봉의 단부를 따라 안내되면서 상기 브러시가 좌,우로 반복이동되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 브러싱장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 좌우이동기구는 상기 모터의 모터축 단부에 형성된 컷팅홈부과, 상기 띠홈부가 형성된 회전축의 반대쪽 단부에 형성되어, 상기 컷팅홈부에 슬라이딩결합됨과 아울러 상기 모터의 회전구동력이 상기 회전축에 전달될 수 있도록 하는 컷팅부를 더 포함하는 기판 세정장비의 브러싱장치
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제 1항에 있어서, 상기 좌우이동기구는 상기 모터의 모터축 단부에 형성된 컷팅홈부과, 상기 띠홈부가 형성된 회전축의 반대쪽 단부에 형성되어, 상기 컷팅홈부에 슬라이딩결합됨과 아울러 상기 모터의 회전구동력이 상기 회전축에 전달될 수 있도록 하는 컷팅부를 더 포함하는 기판 세정장비의 브러싱장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.