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유리기판상에 게이트전극, 게이트절연막, 액티브층 및 소스/드레인 전극으로 이루어지는 박막 트랜지스터가 형성된 액정 표시소자의 하판;상기 하판상부에 형성된 보호막과; 상기 보호막에 형성된 콘택; 및상기 콘택을 포함한 보호막의 상부에 상기 드레인전극과 전기적으로 연결되도록 형성되고, 연속적인 굴곡부를 갖은 반사전극;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자
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제 1 항에 있어서, 상기 보호막은 SiNx 또는 아크릴 재질을 적용한 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자
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제 1 항에 있어서, 상기 반사전극의 연속적인 굴곡부는 규칙적인 요철 형태인 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자
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유리기판상에 게이트전극, 게이트절연막, 액티브층 및 소스/드레인 전극으로 이루어지는 박막 트랜지스터가 형성된 액정 표시소자의 하판 상부에 보호막을 형성하는 공정과; 상기 보호막의 일부 영역을 선택적으로 식각하여 액정 표시소자의 하판에 형성된 드레인 전극의 일부를 노출시키는 공정과; 상기 결과물의 상부에 입사되는 빛을 반사시키는 반사전극으로 적용될 금속층을 형성하는 공정과; 상기 금속층의 상부에 포토레지스트막을 형성한 다음 반투과 마스크를 통해 자외선을 선택적으로 조사시키고, 현상하여 연속적인 굴곡부를 갖는 포토레지스트막패턴을 형성하는 공정과; 상기 포토레지스트막패턴을 식각하여 금속층을 선택적으로 노출시키고, 계속해서 그 금속층이 연속적인 굴곡부를 갖게 될때까지 금속층 식각을 진행하는 공정; 및 상기 포토레지스트막패턴을 제거하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 보호막은 SiNx 또는 아크릴 재질로 형성한 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 포토레지스트막에 자외선을 선택적으로 조사시키기 위하여 상기 반투과 마스크 대신에 회절용 슬릿을 갖는 마스크를 적용하는 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자의 제조방법
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 반투과 마스크 또는 회절용 슬릿을 갖는 마스크는 포토레지스트막에 자외선을 선택적으로 조사시켜 후속 식각을 통해 반사전극으로 적용되는 금속층이 연속적인 굴곡부를 갖도록 함과 아울러 그 금속층이 제거되어야 할 영역 상의 포토레지스트막에 자외선을 조사시킴으로써, 후속 식각을 통해 금속층의 패터닝이 동시에 수행될 수 있도록 제작한 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자의 제조방법
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 반투과 마스크 또는 회절용 슬릿을 갖는 마스크는 포토레지스트막에 자외선을 선택적으로 조사시켜 후속 식각을 통해 반사전극으로 적용되는 금속층이 연속적인 굴곡부를 갖도록 함과 아울러 그 금속층이 제거되어야 할 영역 상의 포토레지스트막에 자외선을 조사시킴으로써, 후속 식각을 통해 금속층의 패터닝이 동시에 수행될 수 있도록 제작한 것을 특징으로 하는 반사판을 구비한 액정 표시소자의 제조방법
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