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액정셀의 셀 갭을 일정 간격으로 유지시키기 위한 스페이서를 기판 상에 산포시키는 스페이서 산포부와, 저장된 상기 스페이서를 소정의 회전운동으로 밀어 올림으로써 상기 스페이서 산포부에 공급하는 회전공급부와, 상기 회전공급부를 주기적으로 진동시켜 상기 회전공급부에 흡착된 스페이서를 박리시키기 위한 진동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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제 1 항에 있어서,상기 스페이서 산포부와 상기 회전공급부 사이에 설치되어 상기 스페이서를 이송하는 파이프를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전공급부는 상기 스페이서를 상기 파이프로 공급하기 위한 홈이 형성된 제1 롤러와,상기 제1 롤러에 인접하게 설치되어 상기 제1 롤러의 홈에 일정한 양의 상기 스페이서를 공급하는 제 2 롤러와,상기 스페이서의 알갱이들을 분쇄하는 제3 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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제 3 항에 있어서, 상기 회전공급부의 일측의 외벽에 설치되어 상기 제1 롤러를 회전시키는 제1 기어와, 상기 제1 기어에 연동되어 상기 제2 롤러를 회전시키는 제2 기어와, 상기 제2 기어에 연동되어 상기 제 3롤러를 회전시키는 제3 기어와, 상기 제1 내지 제 3 기어 중 적어도 어느 하나의 기어에 상기 진동부가 설치되는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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제 4 항에 있어서,상기 진동부는 상기 제1 내지 제 3 기어 중 적어도 어느 하나의 기어에 치합되는 레버와,상기 레버가 상기 기어의 기어산과 기어산을 넘어갈 때 탄성력에 의해 상기 레버를 잡아당겨 상기 기어에 충격을 가해 상기 회전공급부에 흡착된 스페이서를 박리되도록 하는 탄성부재와,상기 레버를 지지하기 위한 레버지지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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제 5 항에 있어서, 상기 기어에 전달되는 충격은 상기 탄성부재의 탄성력에 따라 그 세기가 달라지는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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삭제
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제 2 항에 있어서, 상기 회전공급부에는 상기 저장된 스페이서를 상기 파이프로 압송하기 위해 질소가스가 주입되는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포장치
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저장된 스페이서를 회전운동하는 롤러에 의해 챔버 내에 공급하는 단계와,상기 챔버 내에 공급된 상기 스페이서를 상기 챔버 내에 로딩된 기판 상에 산포시키는 단계와, 상기 회전운동하는 롤러를 주기적으로 진동시켜 상기 롤러에 흡착된 상기 스페이서를 박리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포방법
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제 9 항에 있어서, 상기 롤러를 회전시키기 위한 기어에 충격을 가하여 상기 롤러에 흡착된 상기 스페이서를 박리시키는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포방법
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제 10 항에 있어서, 상기 기어의 충격은 상기 롤러를 회전시키기 위한 상기 기어의 치합되는 레버가 상기 기어의 기어산과 기어산을 넘어갈 때 탄성력에 의해 상기 레버를 잡아당기는 스프링에 의해 상기 기어에 충격을 가해 상기 롤러에 흡착된 상기 스페이서를 박리시키는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포방법
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제 10 항에 있어서, 상기 기어의 충격은 상기 롤러를 회전시키기 위한 상기 기어의 치합되는 레버가 상기 기어의 기어산과 기어산을 넘어갈 때 탄성력에 의해 상기 레버를 잡아당기는 스프링에 의해 상기 기어에 충격을 가해 상기 롤러에 흡착된 상기 스페이서를 박리시키는 것을 특징으로 하는 스페이서 산포방법
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