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기판의 세정 장치 및 세정방법

  • 기술번호 : KST2015024481
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요약 본 발명은 기판의 세정 장치 및 세정 방법에 관한 것으로, 통상적으로 적용되는 세정장비에 의해 세정이 실시된 기판의 진행방향에, 기판과 비접촉식으로 배치되는 자석 판과; 상기 자석 판과 소정거리 이격되어 기판과 비접촉식으로 배치되는 정전기 대전 판이 구비되는 기판의 세정 장치를 통해 통상적인 세정이 실시된 후에도 잔류하는 금속성 이물과 미세 파티클을 기판으로부터 제거함에 따라 제품의 불량률을 감소시켜 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 특히 금속성 미세 이물을 효과적으로 제거하여 화질 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1020010048550 (2001.08.11)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0789451-0000 (2007.12.20)
공개번호/일자 10-2003-0014520 (2003.02.19) 문서열기
공고번호/일자 (20080102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상혁 대한민국 울산광역시동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2001-0201451-19
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0567886-11
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0567887-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0424572-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0702064-22
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0702069-50
7 등록결정서
Decision to grant
2007.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0636824-80
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
1 1
기판과;상기 기판의 진행방향에, 상기 기판과 비접촉식으로 배치되는 자석 판과;상기 자석 판과 이격되어 상기 기판과 비접촉식으로 배치되는 정전기 대전 판;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판의 세정 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 자석 판과 정전기 대전 판은 기판의 상부면 및 하부면에 비접촉식 쌍으로 배치된 것을 특징으로 하는 기판의 세정 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 자석판과 정전기 대전 판은 기판의 상부면 및 하부면에 비접촉식으로 각각 교번하여 배치된 것을 특징으로 하는 기판의 세정 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 자석 판과 정전기 대전 판은 기판의 진행방향에 배치되어, 기판의 진행에 따라 기판 전면이 스캐닝될 수 있도록 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판의 세정 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 자석 판과 정전기 대전 판은 기판의 진행을 정지시키고, 기판 전면을 스캐닝할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 하는 기판의 세정 장치
6 6
기판을 세정하는 제1단계와; 상기 세정된 기판을 일측 방향으로 이송시키는 단계와;자석판과 정전기 대전판을 상기 기판과 비접촉식으로 배치하는 단계와;상기 기판과 비접촉 방식의 정전기 및 자기적 인력을 통해 상기 기판상에 잔류하는 금속성 이물이나 미세 파티클을 제거하는 제2단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 세정 방법
7 6
기판을 세정하는 제1단계와; 상기 세정된 기판을 일측 방향으로 이송시키는 단계와;자석판과 정전기 대전판을 상기 기판과 비접촉식으로 배치하는 단계와;상기 기판과 비접촉 방식의 정전기 및 자기적 인력을 통해 상기 기판상에 잔류하는 금속성 이물이나 미세 파티클을 제거하는 제2단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 세정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.