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박막 트랜지스터 표시소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015024611
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요약 본 발명은 박막 트랜지스터 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 유리기판의 상부에 게이트전극을 형성하고, 그 구조의 상부전면에 게이트절연막을 증착하는 단계와; 상기 게이트전극에 대향하는 위치의 게이트절연막 상에 액티브영역을 형성하는 단계와; 상기 구조의 상부전면에 금속을 증착하고 패터닝하여 소스 및 드레인을 형성함과 아울러 상기 소스에 연결되는 데이터라인을 형성하는 단계와; 상기 구조의 상부전면에 패시베이션막을 증착하고 콘택홀을 형성하여 상기 소스 및 드레인과 데이터라인을 노출시키는 단계와; 상기 구조의 상부전면에 ITO를 증착하고 패터닝하여 드레인에 접속되는 픽셀전극과 상기 소스와 데이터라인에 병렬접속되는 ITO소스와 ITO데이터라인을 형성하는 단계로 구성됨으로써 소스와 데이터라인의 선폭을 상대적으로 줄이는 것이 가능하게 되어 표시소자의 개구율을 향상시키는 효과가 있는 것이다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01) G02F 1/136227(2013.01)
출원번호/일자 1020010045750 (2001.07.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0780711-0000 (2007.11.23)
공개번호/일자 10-2003-0011183 (2003.02.07) 문서열기
공고번호/일자 (20071130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김세준 대한민국 서울특별시용산구
2 이경묵 대한민국 서울특별시구로구
3 유상희 대한민국 서울특별시영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2001-0188868-82
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0543478-45
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0543480-37
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0026509-23
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0300420-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0556892-73
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0556891-27
9 등록결정서
Decision to grant
2007.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0599149-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
1 1
유리기판과; 상기 유리기판의 상부일부에 형성된 게이트전극과; 상기 게이트전극과 유리기판의 상부전면에 형성된 게이트절연막과; 상기 게이트전극에 대향하는 게이트절연막상에 형성된 액티브영역과; 상기 액티브영역상에 소정간격 이격되게 형성된 소스 및 드레인과 상기 소스와 연결되어 평면상에서 일측방향으로 긴 형태의 패턴을 가지는 데이터라인과; 상기 구조의 상부전면에 형성되고 상기 소스 및 드레인을 각각 노출시키는 복수개의 콘택홀이 구비된 패시베이션막과; 상기 패시베이션막상에 형성되고 상기 드레인을 노출시키는 콘택홀을 통해 상기 드레인에 접속되는 픽셀전극과; 상기 패시베이션막에 형성되고 상기 소스를 노출시키는 콘택홀을 통해 상기 소스에 접속되는 ITO소스와, 상기 데이터라인에 접속되며 상기 ITO소스에 연결되는 ITO데이터라인;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 데이터라인과 ITO데이터라인은 패드부분에서 접속되거나, 복수의 콘택홀을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자
4 4
제 1항에 있어서, 상기 ITO는 불순물 이온이 도핑된 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자
5 5
유리기판의 상부에 게이트전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트전극을 포함한 유기기판의 상부전면에 게이트절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트절연막의 상부전면에 비정질실리콘을 형성하고 이를 패터닝하여 상기 게이트전극에 대향하는 위치의 게이트절연막상에 액티브영역을 형성하는 단계와;상기 액티브영역을 포함한 게이트절연막의 상부전면에 금속을 형성하고 이를 패터닝하여 액티브영역의 중앙상부인 채널영역에서 상호 이격되며, 그 액티브영역의 측면 게이트절연막의 일부까지 위치하는 소스 및 드레인을 형성하고 상기 소스에 연결되는 데이터라인을 형성하는 단계와; 상기 데이터라인을 포함한 소스 및 드레인의 상부전면에 패시베이션막을 형성하고 이를 패터닝하여 상기 소스 및 드레인과 데이터라인을 노출시키는 복수개의 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 콘택홀을 포함한 패시베이션막의 상부전면에 ITO를 형성하고 이를 패터닝하여 드레인에 접속되는 픽셀전극과 상기 소스와 데이터라인에 병렬접속되는 ITO소스와 ITO데이터라인을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 ITO소스와 ITO데이터라인을 형성하는 단계는 상기 소스와 데이터라인을 형성할때 사용하는 포토 마스크와 동일한 패턴의 포토 마스크를 사용하여 증착된 ITO를 패터닝하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자 제조방법
7 7
제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 ITO에 불순물 이온을 도핑하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자 제조방법
8 8
제 5항에 있어서, 상기 데이터라인과 ITO데이터라인은 패시베이션막에 형성된 복수개의 콘택홀을 통해 접속되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자 제조방법
9 8
제 5항에 있어서, 상기 데이터라인과 ITO데이터라인은 패시베이션막에 형성된 복수개의 콘택홀을 통해 접속되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 표시소자 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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