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액정표시소자의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015024617
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요약 본 발명은 패턴 정렬 확인키를 액티브 영역 내에 배치함으로써 정확한 패턴 정렬도를 확인하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 기판을 노광하여 기판 상에 패턴을 형성하는 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 기판 상에 필름 및 포토레지스트를 차례로 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트를 패터닝하여 어레이부에 포토레지스트 패턴 및 패턴 정렬 확인키를 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 상기 필름을 식각하는 동시에 상기 패턴 정렬 확인키를 제거하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 마스크, 패턴 정렬 확인키
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자 1020010060700 (2001.09.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0796486-0000 (2008.01.15)
공개번호/일자 10-2003-0026760 (2003.04.03) 문서열기
공고번호/일자 (20080121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박광순 대한민국 대구광역시동구
2 곽동영 대한민국 대구광역시달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2001-0252083-94
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0566008-94
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0566006-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0436844-57
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0688269-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0688270-02
7 등록결정서
Decision to grant
2007.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0687516-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 노광하여 기판 상에 패턴을 형성하는 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 기판 상에 필름 및 포토레지스트를 차례로 형성하는 단계;상기 포토레지스트를 패터닝하여 어레이부에 포토레지스트 패턴 및 패턴 정렬 확인키를 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 필름을 식각하는 동시에 상기 패턴 정렬 확인키를 제거하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 필름 식각시, 필름 식각용 가스 또는 화학용액에 의해 상기 패턴 정렬 확인키가 제거되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 패턴 정렬 확인키를 좌표로 패턴의 정렬 정도를 검사하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 패턴 정렬 확인키는 3㎛의 선폭을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 패턴 정렬 확인키는 상기 포토레지스트 패턴과 오버랩되지 않도록 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 포토레지스트는 음성(negative) 포토 레지스트이거나 또는 양성(positive) 포토 레지스트인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
7 6
제 1 항에 있어서, 상기 포토레지스트는 음성(negative) 포토 레지스트이거나 또는 양성(positive) 포토 레지스트인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.