1 |
1
절연 기판;상기 절연 기판 상부에 형성되어 있는 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극;상기 게이트 배선과 상기 게이트 전극을 덮고 있는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 액티브층;상기 액티브층 상부에 형성되어 있는 오믹 콘택층;상기 오믹 콘택층 상부에 형성되고 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선과, 상기 데이터 배선에 연결된 소스 전극, 그리고 상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극과 마주 대하는 드레인 전극;상기 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극을 덮고 있고, 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지며 유기 절연물질로 이루어진 보호층;상기 보호층 상부의 화소 영역에 형성되고 전단 및 자기단의 상기 게이트 배선 및 일측 및 타측의 상기 데이터 배선과 중첩하는 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극 사이는 L자형으로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극 사이는 U자형으로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
4 |
4
제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보호층은 벤조사이클로부텐과 포토 아크릴 중의 어느 하나로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 데이터 배선과 같은 물질로 이루어지고 상기 게이트 배선과 중첩하며 상기 화소 전극과 연결되는 커패시터 전극을 더 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 화소 전극과 상기 게이트 배선이 중첩하는 폭은 13 ㎛ 보다 크고 상기 게이트 배선의 폭보다 작은 액정 표시 장치용 어레이 기판
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
삭제
|
9 |
9
기판 위에 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결된 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 배선과 상기 게이트 전극 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 위에 액티브층을 형성하는 단계;상기 액티브층 상부에 오믹 콘택층을 형성하는 단계;상기 오믹 콘택층 상부에 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에 연결된 소스 전극, 그리고 상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극과 마주 대하는 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부에 유기 절연물질을 도포하고 패터닝하여, 상기 드레인 전극을 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계;상기 보호층 상부에 전단 및 자기단의 상기 게이트 배선 및 일측 및 타측의 상기 데이터 배선과 중첩하는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
10 |
10
제 9 항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극 사이는 L자형을 이루는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
11 |
11
제 9 항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극 사이는 U자형을 이루는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
12 |
12
제 9 항 내지 제 11 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보호층은 벤조사이클로부텐과 포토 아크릴 중의 어느 하나로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
13 |
13
제 9 항에 있어서, 상기 데이터 배선을 형성하는 단계는 상기 게이트 배선과 중첩하는 커패시터 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
14 |
14
제 13 항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계는 상기 커패시터 전극 상부를 일부 드러내는 제 2 콘택홀을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
15 |
15
제 9 항에 있어서, 상기 화소 전극과 상기 게이트 배선이 중첩하는 폭은 13 ㎛ 보다 크고 상기 게이트 배선의 폭보다 작은 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법
|
16 |
16
삭제
|
17 |
17
삭제
|
18 |
17
삭제
|