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액정표시장치용 어레이기판 제조방법

기술번호 : KST2015024750
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법에 관한 것이다. 어레이기판에 데이터배선과 소스 및 드레인전극을 형성하는 공정 중, 몰리브덴(Mo)으로 형성한 금속층 상부에 알루미늄 합금(AlNd)을 미소(약 200∼300Å)하게 증착한다. 이와 같이 하면, 상기 금속층 상부에 포토레지스트를 도포하기 위한 대기시간 동안, 상기 몰리브덴의 표면이 산화하여 포토레지스트 코팅불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 포토레지스트 코팅불량에 의한 구성요소의 패턴불량을 방지 할 수 있다.
Int. CL	G02F 1/1333 (2006.01)
CPC	G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자	1020010071161 (2001.11.15)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-0572824-0000 (2006.04.14)
공개번호/일자	10-2003-0040740 (2003.05.23) 문서열기
공고번호/일자	(20060425) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2001.11.15)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김현배	대한민국	대전광역시 서구
2	김성희	대한민국	경상북도칠곡군

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	네이트특허법인	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로 *, *호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2001.11.15	수리 (Accepted)	1-1-2001-0297267-86
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2003.07.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2003.08.12	수리 (Accepted)	9-1-2003-0033541-01
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2003.11.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2003-0454842-39
5	명세서 등 보정서 Amendment to Description, etc.	2004.01.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2004-0022465-52
6	의견서 Written Opinion	2004.01.19	수리 (Accepted)	1-1-2004-0022466-08
7	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2004.05.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2004-0193906-08
8	대리인 변경 신고서 Agent change Notification	2004.06.14	수리 (Accepted)	1-1-2004-0254815-69
9	등록결정서 Decision to grant	2006.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0208262-13
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판 상에 게이트배선과 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 게이트 전극이 형성된 기판의 전면에 제 1 절연막인 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 상에 액티층과 오믹콘택층을 형성하는 단계와; 상기 액티브층과 오믹콘택층이 형성된 기판의 전면에 몰리브덴(Mo)과 10Å~500Å의 두께로 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(AlNd)을 연속하여 증착하여, 제 1 금속층과 제 2 금속층을 형성하는 단계와; 상기 제 1 금속층과 제 2 금속층을 포토리소그라피 공정으로 패턴하여, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과, 상기 데이터 배선에서 돌출 연장된 소스전극과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극을 형성하는 단계와; 상기 소스 및 드레인전극과 데이터배선이 형성된 기판의 전면에 제 2 절연막인 보호막을 형성한 후 패턴하여, 상기 드레인전극의 일부를 노출하는 드레인 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 노출된 드레인전극과 접촉하면서 상기 화소영역 상에 투명한 화소전극을 형성하는 단계 를 포함한 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속층은 포토리소그라피 공정 중 포토레지스트를 현상하는 현상액에 제거되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속층은 상기 몰리브덴층인 제 1 금속층을 식각하는 식각용액에 의해 제거되는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 소스 및 드레인전극 사이로 노출된 오믹콘택층을 제거하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레기판 제조방법
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 절연막은 질화 실리콘(SiNX) 또는 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나로 형성하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 절연막은 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지를 포함한 투명한 유기절연물질 또는 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함한 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 도포 또는 증착하여 형성한 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
7	7 삭제
8	8 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속층의 두께는 바람직한 예로 200Å이상 300Å이하가 되도록 증착하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법
9	8 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 금속층의 두께는 바람직한 예로 200Å이상 300Å이하가 되도록 증착하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0572824-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20011115 출원 번호 : 1020010071161 공고 연월일 : 20060425 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060413 청구범위의 항수 : 7 유별 : G02F 1/1333 발명의 명칭 : 액정표시장치용 어레이기판 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20180415

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	459,000 원	2006년 04월 17일	납입
제 4 년분	금 액	194,000 원	2009년 03월 23일	납입
제 5 년분	금 액	194,000 원	2010년 03월 18일	납입
제 6 년분	금 액	194,000 원	2011년 03월 29일	납입
제 7 년분	금 액	366,000 원	2012년 03월 30일	납입
제 8 년분	금 액	366,000 원	2013년 03월 29일	납입
제 9 년분	금 액	366,000 원	2014년 03월 28일	납입
제 10 년분	금 액	625,000 원	2015년 03월 31일	납입
제 11 년분	금 액	625,000 원	2016년 03월 29일	납입
제 12 년분	금 액	625,000 원	2017년 03월 20일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2001.11.15	수리 (Accepted)	1-1-2001-0297267-86
2	선행기술조사의뢰서	2003.07.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2003.08.12	수리 (Accepted)	9-1-2003-0033541-01
4	의견제출통지서	2003.11.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2003-0454842-39
5	명세서 등 보정서	2004.01.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2004-0022465-52
6	의견서	2004.01.19	수리 (Accepted)	1-1-2004-0022466-08
7	거절결정서	2004.05.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2004-0193906-08
8	대리인 변경 신고서	2004.06.14	수리 (Accepted)	1-1-2004-0254815-69
9	등록결정서	2006.04.13	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0208262-13
10	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
12	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
13	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95


기술번호	KST2015024750
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	액정표시장치용 어레이기판 제조방법
기술개요	본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법에 관한 것이다. 어레이기판에 데이터배선과 소스 및 드레인전극을 형성하는 공정 중, 몰리브덴(Mo)으로 형성한 금속층 상부에 알루미늄 합금(AlNd)을 미소(약 200∼300Å)하게 증착한다. 이와 같이 하면, 상기 금속층 상부에 포토레지스트를 도포하기 위한 대기시간 동안, 상기 몰리브덴의 표면이 산화하여 포토레지스트 코팅불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 포토레지스트 코팅불량에 의한 구성요소의 패턴불량을 방지 할 수 있다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2004101002593	2004원2593	2001 년 특허출원 제 71161호 거절결정불복심판	2004.06.14	2006.03.29

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