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건식 식각 장비 및 그 운용방법
- 기술번호 : KST2015024808
- 담당센터 :
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| 요약 | 본 발명에 따른 건식 식각 장비는, 로딩되는 식각 대상을 1차 지지하기 위하여 회전되는 핸드부 및 나사 형태로 형성되어 상기 핸드부에 체결되며, 상기 로딩되는 식각 대상이 안착되도록 마련된 나사형 패드를 구비하는 제 2 리프트 핀; 및 상기 제 2 리프트 핀으로부터 로딩되는 식각 대상을 인수 받고, 그 인수된 식각 대상을 하부 전극 상의 식각 위치에 로딩시키며, 식각 완료된 식각 대상을 상기 하부 전극으로부터 언로딩시키는 제 1 리프트 핀; 을 포함한다. 여기서, 상기 제 2 리프트 핀의 핸드부에 체결되는 상기 나사형 패드는 세라졸(cerazole)로 형성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 제 1 리프트 핀과 제 2 리프트 핀을 이용하여 식각 대상을 로딩/언로딩하는 건식 식각 장비에 있어, 회전되는 제 2 리프트 핀에 식각 대상이 안착되도록 마련되는 패드를 나사형 패드로 형성하여 체결함으로써, 식각 대상을 안정적으로 로딩하여 식각을 진행시킬 수 있는 장점이 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/3065 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/67069(2013.01) H01L 21/67069(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020010083452 (2001.12.22) |
| 출원인 | 엘지디스플레이 주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-0777572-0000 (2007.11.12) |
| 공개번호/일자 | 10-2003-0053276 (2003.06.28) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20071116) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.12.14) |
| 심사청구항수 | 4 |