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유변학적 물성이 향상된 래핑 슬러리용 분산제

  • 기술번호 : KST2015024853
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 웨이퍼 생산공정 중의 래핑 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 래핑 슬러리의 주요성분인 분산제 및 그 제조방법에 관한 것으로, a) 점증성분으로 가교폴리아크릴릭애시드 0.1 내지 3 중량%; b) 분산 및 세정성분으로 노닐페놀 0.1 내지 3 중량%; c) 방청 및 중화성분으로 트리에탄올아민 1 내지 5 중량%; d) 윤활성분으로 폴리에틸렌글리콜 5 내지 20 중량%; e) 윤활성분으로 실리콘글리콜코폴리머 0.1 내지 3 중량%; 및 f) pH 조정성분으로 암모니아수 0.5 내지 5 중량%를 포함하는 래핑 슬러리용 분산제 조성물과 이의 제조방법 및 이 분산제를 포함하는 래핑 슬러리 조성물을 제공한다. 반도체 웨이퍼, 래핑 슬러리, 가교 폴리아크릴릭애시드, 노닐 페놀, 트리에탄올아민, 폴리에틸렌글리콜, 실리콘글리콜코폴리머, 암모니아수, 분산제
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020010074083 (2001.11.27)
출원인 주식회사 엘지생활건강
등록번호/일자 10-0769574-0000 (2007.10.17)
공개번호/일자 10-2003-0043096 (2003.06.02) 문서열기
공고번호/일자 (20071023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지생활건강 대한민국 서울특별시 종로구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송준엽 대한민국 경기도용인시
2 김종윤 대한민국 대전광역시유성구
3 박승규 대한민국 대전광역시유성구
4 김동일 대한민국 대전광역시유성구
5 김태성 대한민국 대전광역시유성구
6 이은주 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지생활건강 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2001-0309198-50
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.04.11 수리 (Accepted) 4-1-2006-0008589-03
3 출원심사청구서
Request for Examination		 2006.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0859623-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0051336-18
6 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0510538-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005742-79
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-5052782-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2017-0041053-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
래핑 슬러리용 분산제 조성물에 있어서, a) 가교폴리아크릴릭애시드; b) 노닐페놀; c) 트리에탄올아민; d) 폴리에틸렌글리콜; e) 실리콘글리콜코폴리머; f) 암모니아수; 및 g) 물 를 포함하는 래핑 슬러리용 분산제 조성물
2 2
제 1 항에 있어서, a) 가교폴리아크릴릭애시드 0
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 조성물의 최소 pH가 8
4 4
래핑 슬러리용 분산제의 제조방법에 있어서, a) 프로펠러 교반기가 장착된 믹서에서 가교폴리아크릴릭애시드를 물에 분산시키는 단계; 및 b) 스크래퍼가 장착된 스크래퍼 믹서에서 상기 a)단계의 분산용액에 노닐페놀, 트리에탄올아민, 폴리에틸렌글리콜, 실리콘글리콜코폴리머, 및 암모니아를 30 내지 60 분의 시간 간격으로 순서대로 첨가하면서 교반 및 혼합하는 단계 를 포함하는 래핑 슬러리용 분산제의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 분산제는 물에 가교폴리아크릴릭애시드가 0
6 6
래핑 슬러리 조성물에 있어서, a) 가교폴리아크릴릭애시드 0
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 분산제의 함량이 3 내지 7 중량%인 래핑 슬러리 조성물
8 7
제 6 항에 있어서, 상기 분산제의 함량이 3 내지 7 중량%인 래핑 슬러리 조성물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.