맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

노광장비의 요 가이드 휨 모니터링 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015025013
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노광장비의 요가이드의 휨 정도를 모니터링하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 요가이드를 따라 이동하는 스테이지의 θ방향의 이상을 감지하는 단계와; 상기 θ방향의 이상이 감지된 경우 θ모터에 구동전류를 보내는 단계와; 상기 θ모터의 구동전류를 감지하여 요가이드의 휨 정도를 판정하는 단계를 포함하는 노광장치의 요가이드 휨 모니터링 방법 또는 이에 따른 장치를 제공한다. 이에 따라, 노광불량이 발생했을 때 오토콜리메이터(autocollimator)로 요가이드의 휨 정도를 측정하기 위해 노광장비를 세우고 생산을 중단하는 등의 생산손실을 줄일 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/7085(2013.01) G03F 7/7085(2013.01) G03F 7/7085(2013.01)
출원번호/일자 1020010088744 (2001.12.31)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0780615-0000 (2007.11.23)
공개번호/일자 10-2003-0058328 (2003.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20071129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.29)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이창준 대한민국 경상북도구미시임

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2001-0355807-81
2 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0985461-14
3 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0985425-81
4 출원심사청구서
Request for Examination		 2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0985460-79
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0069643-85
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0622877-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
θ간섭계와, 기판을 고정하여 이동하는 스테이지와, 상기 스테이지를 가이드하는 요가이드와, θ간섭계의 의해 감지된 θ방향의 이상에 따라 전류를 공급하는 드라이버부와, 상기 드라이브부에서 전류를 공급받아 상기 스테이지의 θ방향의 이상을 보정하는 θ모터를 포함하는 노광장비의 상기 요가이드의 휨을 모니터링하기 위한 장치로서, 상기 드라이브부에서 상기 θ모터에 공급하는 θ모터 구동전류를 감지하여 전류값이 설정치 이상일 경우 이를 에러로 판정하는 판정부를 포함하는 모니터링 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 설정된 전류값은 상기 요가이드가 3초(1초=1/3600°)인 경우에 나타나는 전류값인 모니터링 장치
3 3
요가이드를 따라 이동하는 스테이지의 θ방향의 이상을 감지하는 단계와; 상기 θ방향의 이상이 감지된 경우 θ모터에 구동전류를 보내는 단계와; 상기 θ모터의 구동전류를 감지하여 요가이드의 휨 정도를 판정하는 단계 를 포함하는 노광장치의 요가이드 휨 모니터링 방법
4 3
요가이드를 따라 이동하는 스테이지의 θ방향의 이상을 감지하는 단계와; 상기 θ방향의 이상이 감지된 경우 θ모터에 구동전류를 보내는 단계와; 상기 θ모터의 구동전류를 감지하여 요가이드의 휨 정도를 판정하는 단계 를 포함하는 노광장치의 요가이드 휨 모니터링 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.