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기판; 상기 기판 상부에 형성되어 있는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터를 덮고 있으며, 상기 박막 트랜지스터의 일부를 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층; 상기 보호층 상부에 형성되어 있고, 상기 콘택홀을 통해 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상부의 유기 발광층; 상기 유기 발광층 상부에 형성되어 있는 제 2 전극 을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 콘택홀을 채우며 평탄한 표면을 가지는 능동행렬 유기전기발광소자
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제 1 항에 있어서, 상기 유기 발광층은 균일한 두께를 가지는 능동행렬 유기전기발광소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 3 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 불투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 5 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 알루미늄과 알루미늄 합금, 칼슘 중의 어느 하나로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 불투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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제 9 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 알루미늄과 알루미늄 합금, 칼슘 중의 어느 하나로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
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기판 상부에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상부에 상기 박막 트랜지스터의 일부를 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 상부에 상기 콘택홀을 매설하고 평탄한 표면을 가지며, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 발광층 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계는 도금법으로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계는 섀도우 마스크를 이용한 스퍼터링 방법으로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
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