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능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015025046
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요약 본 발명은 능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 능동행렬 유기전기발광소자에서는 보호층의 콘택홀 상부에 형성되는 제 1 전극이 콘택홀의 단차를 따라 이루어지므로, 거칠기가 좋지 않은 막질을 이루게 된다. 따라서, 제 1 전극 상부에 형성되는 유기 발광층의 두께도 균일하지 않기 때문에, 두께가 얇은 곳에서 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 단락이 발생하게 된다. 본 발명에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에서는 제 1 전극이 콘택홀 내부를 매설하며 평탄한 표면을 가지도록 형성하여, 제 1 전극 상부의 유기 발광층의 두께가 균일하게 되도록 한다. 이에 따라, 유기 발광층의 표면 거칠기 및 두께 편차를 감소시키고, 제 1 전극과 제 2 전극 사이의 단락을 방지하여 소자의 수명을 향상시킬 수 있다. 유기전기발광소자, 거칠기, 평탄화, 단락
Int. CL H05B 33/14 (2006.01)
CPC H01L 27/3248(2013.01) H01L 27/3248(2013.01)
출원번호/일자 1020010087705 (2001.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0782322-0000 (2007.11.29)
공개번호/일자 10-2003-0057632 (2003.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20071206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.28)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재용 대한민국 경기도안양시동안구
2 유충근 대한민국 인천광역시부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2001-0353647-25
2 출원심사청구서
Request for Examination
2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0978663-76
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0978664-11
4 대리인변경신고서
Agent change Notification
2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0978662-20
5 등록결정서
Decision to grant
2007.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0639061-75
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상부에 형성되어 있는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터를 덮고 있으며, 상기 박막 트랜지스터의 일부를 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층; 상기 보호층 상부에 형성되어 있고, 상기 콘택홀을 통해 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상부의 유기 발광층; 상기 유기 발광층 상부에 형성되어 있는 제 2 전극 을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 콘택홀을 채우며 평탄한 표면을 가지는 능동행렬 유기전기발광소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 유기 발광층은 균일한 두께를 가지는 능동행렬 유기전기발광소자
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 불투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 알루미늄과 알루미늄 합금, 칼슘 중의 어느 하나로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 불투명 도전 물질로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 전극은 알루미늄과 알루미늄 합금, 칼슘 중의 어느 하나로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자
11 11
기판 상부에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상부에 상기 박막 트랜지스터의 일부를 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 상부에 상기 콘택홀을 매설하고 평탄한 표면을 가지며, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 발광층 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계는 도금법으로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제 1 전극을 형성하는 단계는 섀도우 마스크를 이용한 스퍼터링 방법으로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법
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