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이중램프 노광장치

  • 기술번호 : KST2015025100
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요약 본 발명에 의한 이중램프 노광장치는 광을 출사하는 2개의 램프와, 각각의 램프에서 출사된 광을 노광면에 수직하게 반사시키는 2개의 콜리메이트 반사경과, 각각의 램프에서 출사된 빛을 독립하는 상기 콜리메이트 반사경으로 전사시키는 광학계로 구성되어, 대면적, 고휘도 광원의 조사가 가능하여 생산성 및 품질 향상에 효과가 있다. 플라이 아이 렌즈, 램프, 반사 집광경, 콜리메이트 반사경
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/2004(2013.01) G03F 7/2004(2013.01) G03F 7/2004(2013.01) G03F 7/2004(2013.01)
출원번호/일자 1020010089236 (2001.12.31)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0471427-0000 (2005.02.01)
공개번호/일자 10-2003-0058705 (2003.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20050308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.12.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하철호 대한민국 경기도오산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2001-0357027-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2002-5030566-15
3 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2003.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-5039188-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0001103-67
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0317807-51
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.10.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0447429-19
9 의견서
Written Opinion
2004.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2004-0447426-83
10 등록결정서
Decision to grant
2005.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0012484-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
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번호 청구항
1 1
광을 출사하는 램프와, 상기 램프에서 출사된 광을 집광시켜 반사시키는 반사 집광경과, 상기 램프 및 반사 집광경으로부터 전달되는 광을 노광면에 균일한 광의 세기로 전사시키는 플라이 아이 렌즈와, 상기 플라이 아이 렌즈에서 발산된 광을 상기 노광면에 평행광 형태로 전환시켜 반사시키는 콜리메이트 반사경을 포함하고; 상기 각 구성 요소는 복수개로 이루어지되, 상기 각 램프에서 출사된 광을 각각의 경로를 거쳐 하나의 노광면에 각각 전달할 수 있도록 각 구성 요소가 일대일로 대응되어 구성되고, 상기 플라이 아이 렌즈는 자신의 렌즈면이 상기 반사 집광경에서 반사된 광과 수직하도록 배치된 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 콜리메이트 반사경은 적어도 일측이 상호 접합되어 구성된 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 램프에서 콜리메이트 반사경 사이의 광 경로상에는 상기 램프에서 출사된 광을 상기 콜리메이트 반사경으로 안내하는 경로조정수단이 포함된 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 경로조정수단은 상기 램프 및 집광 반사경에서 출사된 광을 상기 플라이 아이 렌즈로 반사시키는 제 1반사경과, 상기 플라이 아이 렌즈에서 전사된 광을 상기 콜리메이트 반사경에 반사하는 제 2반사경으로 구성된 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수개의 콜리메이트 반사경이 '∨'형태로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
6 6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수개의 콜리메이트 반사경이 '∧'형태로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
7 6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수개의 콜리메이트 반사경이 '∧'형태로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 이중램프 노광장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP03782377 JP 일본 FAMILY
2 JP15202674 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2003202674 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP3782377 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.