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액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015025355
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요약 본 발명은 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 투명한 화소전극인 애노드전극 하부의 절연막을 유기막으로 구성하여 배선간의 신호왜곡을 줄이고, 그 상부에 애노드전극을 원하는 두께보다 더 두껍게 형성한 후, 이를 적당한 두께로 연마하여 그 표면을 균일하게 만들어줌으로써, 애노드전극 상부의 유기발광층을 균일한 두께로 형성시켜 유기발광소자의 수명을 향상시킨 것이다.
Int. CL H05B 33/22 (2011.01)
CPC H01L 51/5206(2013.01) H01L 51/5206(2013.01) H01L 51/5206(2013.01)
출원번호/일자 1020020029993 (2002.05.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0832296-0000 (2008.05.20)
공개번호/일자 10-2003-0092354 (2003.12.06) 문서열기
공고번호/일자 (20080526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.29)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재용 대한민국 경기도안양시동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2002-0168887-15
2 출원심사청구서
Request for Examination
2007.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0394225-95
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 등록결정서
Decision to grant
2008.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0225302-75
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명한 기판과; 상기 투명한 기판 상에 형성되고 액티브층, 소스/드레인전극, 그리고 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터와; 상기 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터 상부 전면에 형성되며, 상기 박막트랜지스터의 드레인전극 혹은 소스전극의 일부를 노출시키는 보호막과; 상기 보호막 상부의 화소영역 및 노출된 드레인 혹은 소스전극 상에 형성되며, 상기 화소영역과 노출된 드레인 혹은 소스전극 상에 그 두께가 서로 다르게 형성된 제1전극과 상기 제1전극 상부에 형성된 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기전계발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
2 2
제 1항에 있어서, 상기 스토리지 커패시터는 스토리지 하부전극, 파워라인, 그리고 상기 스토리지 하부전극과 파워라인 사이에 형성된 층간절연막으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 애노드전극이고, 상기 제2전극은 캐소드전극인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 캐소드전극이고, 상기 제2전극은 애노드전극인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 ITO, IZO, ITZO와 같은 투명한 금속물질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
6 6
제 1항에 있어서, 상기 제2전극은 ITO, IZO, ITZO와 같은 투명한 금속물질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
7 7
제 1항에 있어서, 상기 노출된 드레인전극 또는 소스전극 상에 형성된 제1전극의 두께가 화소영역에 형성된 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
8 8
제 7항에 있어서, 상기 노출된 드레인전극 또는 소스전극 상에 형성된 제1전극의 두께는 약 1300∼2000Å인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
9 9
제 7항에 있어서, 상기 화소영역에 형성된 제1전극의 두께는 약 1000∼1500Å인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
10 10
투명한 기판을 준비하는 단계와; 상기 투명한 기판 상에 액티브층, 소스/드레인전극, 그리고 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터와 스토리지 하부전극, 층간절연막, 그리고 파워라인을 포함하는 스토리지 커패시터를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함하는 기판 상부 전면에 박막트랜지스터의 드레인전극 혹은 소스전극의 일부를 노출시키는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 보호막 상에 유기발광소자의 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 제1전극의 표면을 연마하는 단계와; 상기 제1전극 상에 유기발광층 및 제2전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 제1전극은 애노드전극이고, 상기 제2전극은 캐소드전극으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
12 12
제 10항에 있어서, 상기 제1전극은 캐소드전극이고, 상기 제2전극은 애노드전극으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
13 13
제 10항에 있어서, 상기 보호막은 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
14 14
제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
15 15
제 14항에 있어서, 상기 CMP 공정시 사용되는 연마제는 세륨옥사이드(Ceria), Al2O3, SiC 입자중의 하나가 산화마그네슘(MgO)에 분산된 나노파우더인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
16 16
제 14항에 있어서, 상기 CMP 공정시 사용되는 연마제는 텅스텐카바이드-코발트(WC-Co) 또는 티타늄옥사이드(TiO3) 중의 하나인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
17 17
제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계에서 애노드전극이 연마되는 두께는 약 300∼500Å 인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
18 17
제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계에서 애노드전극이 연마되는 두께는 약 300∼500Å 인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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