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투명한 기판과; 상기 투명한 기판 상에 형성되고 액티브층, 소스/드레인전극, 그리고 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터와; 상기 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터 상부 전면에 형성되며, 상기 박막트랜지스터의 드레인전극 혹은 소스전극의 일부를 노출시키는 보호막과; 상기 보호막 상부의 화소영역 및 노출된 드레인 혹은 소스전극 상에 형성되며, 상기 화소영역과 노출된 드레인 혹은 소스전극 상에 그 두께가 서로 다르게 형성된 제1전극과 상기 제1전극 상부에 형성된 유기발광층 및 제2전극으로 구성된 유기전계발광소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 1항에 있어서, 상기 스토리지 커패시터는 스토리지 하부전극, 파워라인, 그리고 상기 스토리지 하부전극과 파워라인 사이에 형성된 층간절연막으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 애노드전극이고, 상기 제2전극은 캐소드전극인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 캐소드전극이고, 상기 제2전극은 애노드전극인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 1항에 있어서, 상기 제1전극은 ITO, IZO, ITZO와 같은 투명한 금속물질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 1항에 있어서, 상기 제2전극은 ITO, IZO, ITZO와 같은 투명한 금속물질로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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7
제 1항에 있어서, 상기 노출된 드레인전극 또는 소스전극 상에 형성된 제1전극의 두께가 화소영역에 형성된 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 7항에 있어서, 상기 노출된 드레인전극 또는 소스전극 상에 형성된 제1전극의 두께는 약 1300∼2000Å인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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제 7항에 있어서, 상기 화소영역에 형성된 제1전극의 두께는 약 1000∼1500Å인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자
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투명한 기판을 준비하는 단계와; 상기 투명한 기판 상에 액티브층, 소스/드레인전극, 그리고 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터와 스토리지 하부전극, 층간절연막, 그리고 파워라인을 포함하는 스토리지 커패시터를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함하는 기판 상부 전면에 박막트랜지스터의 드레인전극 혹은 소스전극의 일부를 노출시키는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 보호막 상에 유기발광소자의 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 제1전극의 표면을 연마하는 단계와; 상기 제1전극 상에 유기발광층 및 제2전극을 형성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 제1전극은 애노드전극이고, 상기 제2전극은 캐소드전극으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 제1전극은 캐소드전극이고, 상기 제2전극은 애노드전극으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 보호막은 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 통해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 14항에 있어서, 상기 CMP 공정시 사용되는 연마제는 세륨옥사이드(Ceria), Al2O3, SiC 입자중의 하나가 산화마그네슘(MgO)에 분산된 나노파우더인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 14항에 있어서, 상기 CMP 공정시 사용되는 연마제는 텅스텐카바이드-코발트(WC-Co) 또는 티타늄옥사이드(TiO3) 중의 하나인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계에서 애노드전극이 연마되는 두께는 약 300∼500Å 인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 애노드전극의 연마단계에서 애노드전극이 연마되는 두께는 약 300∼500Å 인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광표시소자의 제조방법
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