| 1 |
1
절연체로 된 기판과;
상기 기판의 상측에 이격되게 배치되어 상기 기판에 형성된 한 쌍의 제1회동축을 중심으로 상기 기판에 대해 회동가능하게 배치되고, 내부가 빈 사각 판 형상의 김블과;
광을 반사할 수 있게 형성된 반사면을 구비하여 상기 김블의 내측에 상기 제1회동축과 직각으로 배치되게 형성되는 한 쌍의 제2회동축을 중심으로 상기 김블에 대해 상대회동 가능하게 형성되는 사각 판상의 미러플레이트와;
상기 기판에 형성되는 복수의 고정전극과;
상기 고정전극과 전위차에 의해 상기 김블 및 상기 미러플레이트가 상기 제1회동축 및 상기 제2회동축을 중심으로 각각 회동될 수 있게 상기 김블 및 상기 미러플레이트에 각각 형성되는 가동전극을 포함하여 구성되되,
상기 김블 및 상기 제1회동축과, 상기 제2회동축 및 상기 미러플레이트는 실리콘으로 형성되어 전력 인가시 상기 가동전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 기판은 유리부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,
상기 김블 및 상기 제1회동축은 상호 일체로 형성되고, 상기 제2회동축 및 상기 미러플레이트는 상호 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,
상기 제1회동축의 각 끝단에 상기 기판에 접촉되어 상기 각 제1회동축을 상기 기판으로부터 소정 거리 이격되게 지지할 수 있도록 두께방향을 따라 연장형성되는 한 쌍의 앵커를 더 포함하며, 상기 앵커중 어느 하나에는 상기 제1회동축과 통전 가능하게 연결되는 가동패드가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,
상기 고정전극은 일측 끝단이 상기 김블의 각 모서리의 하측에 대응되게 상기 김블의 각 변을 따라 소정 폭을 가지며 상호 절연되게 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,
상기 각 고정전극은 상호 대칭인 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,
상기 고정전극은 상기 김블의 네 변부 중 상기 제1회동축과 나란하게 배치된 상기 김블의 두 변부의 하측 및, 상기 미러플레이트의 네 변부 중 상기 제2회동축과 나란하게 배치된 상기 미러플레이트의 두 변부의 하측에 각각 소정 면적을 가지며 상호 절연되게 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,
상기 각 고정전극에 전력을 공급할 수 있도록 상기 기판위에 형성되는 고정패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 10 |
10
제1항, 제2항, 제4항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서,
상기 김블 및 상기 미러플레이트중 적어도 어느 하나를 초기위치로 복귀시킬 수 있게 상기 어느 하나에 탄성력을 가하는 탄성복귀수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,
상기 탄성복귀수단은 일단이 상기 기판에 고정되고 타단은 상기 김블에 접촉되게 외팔보 형상으로 형성된 김블복귀스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,
상기 탄성복귀수단은 일단은 상기 기판에 고정되고 타단은 상기 김블에 접촉되는 코일형상의 김블복귀스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,
상기 탄성복귀수단은 일단은 상기 김블에 고정되고 타단은 상기 미러플레이트의 저면에 접촉될 수 있게 외팔보 형상으로 형성되는 미러복귀스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러
|
| 14 |
14
유리기판과, 상기 유리기판의 두께방향을 따라 소정 두께로 형성되고 상호 소정 거리 이격되는 앵커와 상기 앵커에 연결된 제1회동축을 중심으로 상기 유리기판에 대해 상대회동 가능한 김블과 상기 김블의 내부에 상기 제1회동축에 직각방향으로 형성된 제2회동축을 중심으로 상기 김블에 대해 상대회동 가능한 미러플레이트로 될 실리콘기판을 준비하는 단계와;
상기 실리콘기판을 두께방향을 따라 가공하여 상기 앵커를 형성하는 단계와;
상기 유리기판위에 상기 김블 및 상기 미러플레이트를 정전기력에 의해 회동시킬 수 있도록 복수의 고정전극 및 패드를 형성하는 단계와;
상기 유리기판에 상기 앵커를 접합하는 단계와; 상기 앵커에 대해 축소된 두께를 가지는 상기 김블 및 미러플레이트의 두께에 대응되게 상기 실리콘기판을 두께방향을 따라 가공하는 단계와;
상기 실리콘기판에 상기 제1회동축 및 상기 제2회동축과 상기 김블 및 상기 미러플레이트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,
상기 제1회동축 및 상기 제2회동축과 상기 김블 및 상기 미러플레이트를 형성하는 단계 전에 상기 미러플레이트에 반사면을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 16 |
16
제15항에 있어서,
상기 반사면의 형성시 상기 반사면과 동시에 상기 앵커에 가동패드를 형성하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 17 |
17
제14항에 있어서,
상기 실리콘기판이 상기 김블 및 상기 미러플레이트의 두께에 대응되게 상기 실리콘기판을 가공하는 단계후, 상기 실리콘기판의 표면을 폴리싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 18 |
18
제14항에 있어서,
상기 반사면은 상기 미러플레이트의 표면에 반사도가 높은 금속으로 형성된 금속박막인 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 19 |
19
제14항에 있어서,
상기 김블은 내부가 빈 사각 판 형상을 가지며, 상기 고정전극을 형성하는 단계는, 상기 유리기판의 표면에 박막층을 형성하는 단계와, 평면투영시 상기 고정전극이 상기 김블의 각 모서리에 대응되고 서로 절연됨과 아울러 서로 대칭되게 배치되도록 상기 박막층을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 20 |
20
제14항에 있어서,
상기 김블은 내부가 빈 사각 판 형상을 가지며, 상기 고정전극을 형성하는 단계는, 상기 유리기판의 표면에 박막층을 형성하는 단계와, 평면투영시 상기 고정전극이 상기 제1회동축과 나란하게 배치된 상기 김블의 두 연부의 하측에 나란하게 배치되는 한 쌍과, 상기 제2회동축과 나란하게 배치되는 상기 미러플레이트의 두 연부의 하측에 나란하게 배치되도록 상기 박막층에 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 21 |
21
제14항 내지 제20항중 어느 한 항에 있어서,
상기 김블이 상기 유리기판의 표면과 나란하게 배치되는 초기위치로 상기 김블을 복귀시키는 김블복귀스프링을 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 김블복귀스프링은 외팔보 형상 또는 코일 스프링 형상으로 형성되고, 상기 김블복귀스프링은 일 단이 상기 유리기판에 고정되고 타 단은 상기 김블의 저면에 접촉되게 설치되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 22 |
22
제21항에 있어서,
상기 미러플레이트가 상기 김블과 나란하게 배치되는 초기위치로 상기 미러플레이트를 복귀시키는 미러플레이트복귀스프링을 마련하는 단계를 더 포함하고, 상기 미러플레이트복귀스프링은 외팔보 형상으로 형성되고, 상기 미러플레이트복귀스프링은 일 단이 상기 김블에 고정되고 타 단은 상기 미러플레이트의 저면에 접촉되게 설치되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
| 23 |
23
제14항 내지 제20항중 어느 한 항에 있어서,
상기 김블이 상기 유리기판의 표면과 나란하게 배치되는 초기위치로 상기 김블을 복귀시키는 김블복귀스프링을 마련하는 단계와;
상기 미러플레이트가 상기 김블과 나란하게 배치되는 초기위치로 상기 미러플레이트를 복귀시키는 미러플레이트복귀스프링을 마련하는 단계를 더 포함하고,
상기 김블복귀스프링은 외팔보 형상 또는 코일 스프링 형상으로 형성되고, 상기 김블복귀스프링은 일 단이 상기 유리기판에 고정되고 타 단은 상기 김블의 저면에 접촉되게 설치되고,
상기 미러플레이트복귀스프링은 외팔보 형상으로 형성되고, 상기 미러플레이트복귀스프링은 일 단이 상기 김블에 고정되고 타 단은 상기 미러플레이트의 저면에 접촉되게 설치되는 것을 특징으로 하는 정전기식 2축 마이크로 미러의 제조방법
|
