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액정표시장치의 입력배선 형성방법

  • 기술번호 : KST2015025854
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요약 본 발명은 하나의 콘택홀을 통해 두 개의 배선층을 동시에 전기적으로 연결함으로서 면적을 줄이도록 한 액정표시장치의 입력배선 형성방법에 관한 것으로서, 절연 기판상의 일정영역에 형성되는 제 1 배선층과, 상기 제 1 배선층을 포함한 절연 기판의 전면에 질화 실리콘막으로 형성되는 제 1 층간 절연막과, 상기 제 1 층간 절연막상에 상기 제 1 배선층과 오버랩되도록 몰리브덴으로 형성되는 제 2 배선층과, 상기 제 2 배선층을 포함한 절연 기판의 전면에 질화 실리콘막으로 형성되는 제 2 층간 절연막과, 상기 제 1 배선층의 표면이 소정부분 노출되도록 상기 제 2 층간 절연막, 제 2 배선층 및 제 1 층간 절연막을 관통하여 형성되는 콘택홀과, 상기 콘택홀을 통해 상기 제 1 배선층 및 제 2 배선층을 전기적으로 연결하기 위해 상기 제 2 층간 절연막상에 ITO막으로 형성되는 제 3 배선층을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 액정표시장치, 입력배선, 층간 절연막, 콘택홀
Int. CL G02F 1/1345 (2006.01)
CPC G02F 1/1345(2013.01) G02F 1/1345(2013.01) G02F 1/1345(2013.01) G02F 1/1345(2013.01) G02F 1/1345(2013.01)
출원번호/일자 1020020053791 (2002.09.06)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0499570-0000 (2005.06.27)
공개번호/일자 10-2004-0021987 (2004.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20050705) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.09.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 조소행 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2002-0292198-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0022998-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0256011-61
5 의견서
Written Opinion
2004.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0391199-66
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.08.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0391198-10
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2005.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0046694-33
8 명세서 등 보정서 (심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2005.03.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2005-0004101-67
9 등록결정서
Decision to grant
2005.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0215320-04
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
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번호 청구항
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절연 기판상의 일정영역에 제 1 배선층을 형성하는 단계; 상기 제 1 배선층을 포함한 전면에 질화 실리콘막으로 제 1 층간 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 층간 절연막상에 몰리브덴을 형성하고 상기 몰리브덴을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 배선층과 오버랩되도록 제 2 배선층을 형성하는 단계; 상기 제 2 배선층을 포함한 전면에 질화 실리콘막으로 제 2 층간 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 1 배선층의 표면이 소정부분 노출되도록 SF6을 포함한 식각가스로 상기 제 2 층간 절연막, 제 2 배선층, 제 1 층간 절연막을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀을 포함한 전면에 ITO막을 형성하고 상기 ITO막을 선택적으로 제거하여 상기 콘택홀을 통해 상기 제 1, 제 2 배선층과 전기적으로 연결되는 제 3 배선층을 형성하는 단계를 포함하여 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 입력배선 형성방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제 1 배선층은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄 또는 탄탈륨 등의 금속이나, MoW, MoTa, 또는 MoNo 등의 몰리브덴 합금 중에서 적어도 하나를 CVD 또는 스퍼터링 방법을 증착한 후 선택적으로 제거하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 입력배선 형성방법
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