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질화갈륨 기판 제조방법

  • 기술번호 : KST2015025860
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요약 본 발명은 질화갈륨 기판 제조방법에 관한 것으로, 사파이어 기판의 측면에 보호부를 형성하여, 질화갈륨을 성장시킴으로써, 사파이어 기판의 가장자리(Edge)에 질화갈륨 후막이 불균일하게 성장되는 것을 방지할 수 있고, 질화갈륨 후막과 사파이어 기판의 분리를 원활히 수행할 수 있으며, 고품질의 질화갈륨 기판을 제조할 수 있는 효과가 발생한다. 질화갈륨, 기판, 분리, 커버링, 보호막
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02389(2013.01) H01L 21/02389(2013.01)
출원번호/일자 1020020060669 (2002.10.04)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0523973-0000 (2005.10.19)
공개번호/일자 10-2004-0031284 (2004.04.13) 문서열기
공고번호/일자 (20051026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.10.04)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임시종 대한민국 서울특별시서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창남 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, *층 (서초동, 명지빌딩)(나이스국제특허법률사무소)
2 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
3 장재용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **-*, *층(역삼동, 대명빌딩)(휴피아국제특허법률사무소)
4 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
5 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
6 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2002-0326771-91
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.08.18 수리 (Accepted) 9-1-2004-0049484-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0494669-08
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2005.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0038762-61
7 의견서
Written Opinion
2005.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2005-0094263-92
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0094259-19
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0277169-36
10 의견서
Written Opinion
2005.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0445786-92
11 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2005.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0445782-10
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.08.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0445787-37
13 등록결정서
Decision to grant
2005.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0515269-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
사파이어 기판의 측면을 미리 만들어진 별도의 보호부로 감싸서 상기 사파이어 기판의 상면을 노출시키는 제 1 단계와;질화갈륨 기판을 제조하는 챔버 내부에 있는 서셉터의 상부에 상기 사파이어 기판을 올려놓는 제 2 단계와;상기 제 1 단계에서 노출된 사파이어 기판 상부에 질화갈륨 후막을 성장시키는 제 3 단계와;상기 사파이어 기판과 질화갈륨 후막을 분리시키는 제 4 단계로 구성된 질화갈륨 기판 제조 방법
2 2
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3 3
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4 4
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5 5
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6 6
제 1 항에 있어서, 상기 보호부의 두께는 사파이어 기판의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 질화갈륨 기판 제조 방법
7 7
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8 7
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.