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스퍼터링 장치

  • 기술번호 : KST2015025972
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스퍼터링장치에 관한 것으로, 증착막이 형성되는 기판과, 상기 기판 위에 배치되어 상기 기판의 비증착부분을 마스킹하는 플로팅마스크와, 상기 플로팅 마스크 위에 배치되고 전도성물질의 사각 테두리 형상으로 형성되어 플라즈마 방전시 양극 역할을 하는 마스크와, 상기 마스크와 상기 플로팅 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크와 상기 플로팅 마스크를 절연시키는 제1 절연체와, 상기 플로팅마스크 하부에 형성되어 상기 플로팅마스크와 상기 기판을 절연시키는 제2 절연체를 구비한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/042(2013.01) C23C 14/042(2013.01)
출원번호/일자 1020020067662 (2002.11.02)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0962494-0000 (2010.06.03)
공개번호/일자 10-2004-0039554 (2004.05.12) 문서열기
공고번호/일자 (20100614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.01)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진영 대한민국 인천광역시부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2002-0363044-28
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0657171-64
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2007.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0785990-54
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0043005-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0426982-39
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0779312-13
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0023109-99
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0023127-11
11 등록결정서
Decision to grant
2010.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0194113-84
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증착막이 형성되는 기판과, 상기 기판 위에 배치되어 상기 기판의 비증착부분을 마스킹하는 플로팅마스크와, 상기 플로팅 마스크 위에 배치되고 전도성물질의 사각 테두리 형상으로 형성되어 플라즈마 방전시 양극 역할을 하는 마스크와, 상기 마스크와 상기 플로팅 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크와 상기 플로팅 마스크를 절연시키는 제1 절연체와, 상기 플로팅마스크 하부에 형성되어 상기 플로팅마스크와 상기 기판을 절연시키는 제2 절연체를 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 절연체들 각각은 절연물질로 형성되고, 그 중 적어도 어느 하나는 세라졸(Celazole)로 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 플로팅마스크와 상기 제2 절연체를 연결하기 위한 연결부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 플로팅마스크의 제1 홈과 상기 제2 절연체의 제2 홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 스퍼터링장치는 액정표시패널의 제조장치인 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 플로팅마스크는 상기 마스크의 위치에 따라 다른 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 마스크의 양측변에 형성되는 플로팅마스크는 일자형태로 형성되며, 상기 마스크의 모서리에 형성되는 플로팅마스크는 "L"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 플로팅마스크는 상기 마스크의 단축변보다 상기 마스크의 장축변에 상대적으로 많은 개수로 위치하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.