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디스크용 스핀코팅장비

  • 기술번호 : KST2015026010
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 디스크용 스핀코팅장비에 관한 것이다. 본 발명의 장비는 본체(20)의 일측에 스핀코터분사암(24)이 구비되고, 상기 스핀코터분사암(24)에는 코팅용액을 분사하는 분사노즐(26)이 구비된다. 상기 본체(20)의 일측에 디스크(D)를 회전시키는 회전척(28)이 구비된다. 상기 회전척(28)의 상면에는 디스크(D)가 안착되어 회전척(28)과 일체로 회전된다. 상기 본체(20)의 일측에는 상기 분사노즐(26)이 대기위치에 있을 때, 분사노즐(26)을 세정하기 위한 세정부(30)가 구비된다. 상기 세정부(30)에는 세정용제가 저장되는 용제저장조(32)가 구비되고, 상기 용제저장조(32)의 세정용제를 가압하여 전달하는 펌프(34)가 구비된다. 상기 펌프(34)에는 용제공급관(36)이 연결되어 세정노즐(38)로 세정용제를 공급한다. 상기 세정노즐(38)에서 분사된 세정용제는 용제회수구(40)를 통해 다시 회수된다. 이와 같은 본 발명에 의하면 분사노즐(26)에 코팅용액이 응고되는 것이 방지되어 디스크(D)에 형성되는 코팅층이 보다 균일하게 된다. 디스크, 코팅, 세정, 노즐
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/162(2013.01) G03F 7/162(2013.01)
출원번호/일자 1020020070919 (2002.11.14)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0854741-0000 (2008.08.21)
공개번호/일자 10-2004-0042962 (2004.05.22) 문서열기
공고번호/일자 (20080827) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정인호 대한민국 충청북도청주시흥덕구
2 황인억 대한민국 충청북도청주시상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우린 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 ***, *층 (역삼동, 정호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2002-0376724-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2007.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0668271-89
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0408577-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
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번호 청구항
1 1
스핀코팅을 위한 각종 장치가 구비되는 본체와, 상기 본체의 일측에 이동가능하게 설치되고 코팅용액을 분사하는 분사노즐을 구비하는 스핀코터분사암과, 상기 본체의 일측에 설치되어 디스크를 파지한 상태로 회전하는 회전척과, 상기 본체의 일측에 설치되고 상기 분사노즐의 끝부분에 남은 코팅용액을 세정하는 세정부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스크용 스핀코팅장비
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 세정부는 분사노즐의 세정을 위한 세정용제가 저장되는 용제저장조와, 상기 용제저장조의 세정용제를 가압하여 공급하는 펌프와, 상기 펌프에서 가압되어 공급되는 세정용제를 상기 분사노즐의 말단에 분사하는 세정노즐과, 상기 세정노즐에서 분사되어 분사노즐을 세정한 세정용제를 회수하는 용제회수구를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스크용 스핀코팅장비
3 2
제 1 항에 있어서, 상기 세정부는 분사노즐의 세정을 위한 세정용제가 저장되는 용제저장조와, 상기 용제저장조의 세정용제를 가압하여 공급하는 펌프와, 상기 펌프에서 가압되어 공급되는 세정용제를 상기 분사노즐의 말단에 분사하는 세정노즐과, 상기 세정노즐에서 분사되어 분사노즐을 세정한 세정용제를 회수하는 용제회수구를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스크용 스핀코팅장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.