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감압장치

  • 기술번호 : KST2015026079
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요약 본 발명은 분말 및 진동에 의해 진공펌프가 손상되는 것을 방지할 수 있는 감압장치에 관한 것이다. 본 발명은 프로세스 챔버와, 상기 챔버 내부를 고진공 상태로 감압시키기 위한 진공펌프와, 상기 진공펌프를 지지하기 위한 댐퍼와, 상기 챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 상기 진공펌프의 진공력을 높이기 위한 버퍼 탱크와, 상기 버퍼 탱크를 직접 지지하기 위한 서포터를 구비한다. 이러한 구성에 의하여, 본 발명은 고 하중의 버퍼 탱크를 서포터가 지지함과 아울러 질소가스에 의해 진공펌프 내부에 적체된 파우더를 외부로 배출시킴으로써 진공펌프 내부의 베어링 또는/및 블레이드 등의 손상을 방지하게 된다.
Int. CL H01L 21/00 (2009.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020020071946 (2002.11.19)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0939207-0000 (2010.01.21)
공개번호/일자 10-2004-0043599 (2004.05.24) 문서열기
공고번호/일자 (20100128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황영진 대한민국 경상남도 마산시 회원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2002.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-0381439-71
2 특허출원서
Patent Application
2002.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-0381278-16
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0657171-64
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2007.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0828120-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0828105-27
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2008-0077080-57
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0230328-14
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0465434-43
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0465431-17
12 등록결정서
Decision to grant
2009.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0471303-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프로세스 챔버와, 상기 챔버 내부를 고진공 상태로 감압시키기 위한 진공펌프와, 상기 진공펌프를 지지하기 위한 댐퍼와, 상기 챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 상기 진공펌프의 진공력을 높이기 위한 버퍼 탱크와, 상기 버퍼 탱크를 직접 지지하기 위한 서포터와, 상기 진공펌프에 설치되어 상기 진공펌프 내부로 고압의 가스를 공급하기 위한 가스 공급기를 구비하는 것을 특징으로 하는 감압장치
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 버퍼 탱크의 하단부는 상기 진공펌프의 바깥쪽으로 연장되고, 상기 서포터는 상기 연장된 버퍼탱크의 하단부와 지면 사이에 수직하게 설치되는 것을 특징으로 하는 감압장치
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제 3 항에 있어서, 상기 연장된 버퍼탱크의 하단부와 상기 서포터 사이에 설치되는 충격완충부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 감압장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.