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질화물 기판 상부에 n-질화물층, 활성층, p-질화물층, 제 1 오믹전극을 순차적으로 적층하고, 상기 제 1 오믹전극 상면에 금속을 증착하고 패터닝하여 p패드 전극을 형성하는 제 1 단계;
상기 질화물 기판의 하면에 금속을 증착하고 단위 칩별로 패터닝하여 제 2 오믹전극을 형성하는 제 2 단계;
상기 제 2 오믹전극의 하부에 반사막과 n패드 전극을 순차적으로 적층하는 제 3 단계;
상기 질화물 기판부터 제 1 오믹전극까지 단위 칩별로 스크라이빙시켜 분리하는 제 4 단계로 이루어지는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 반사막은;
금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속은;
알루미늄(Al) 또는 금(Ag)인 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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질화물 기판 상부에 n-질화물층, 활성층, p-질화물층, 제 1 오믹전극을 순차적으로 적층하고, 상기 제 1 오믹전극 상면에 금속을 증착하고 패터닝하여 p패드 전극을 형성하는 제 1 단계;
상기 질화물 기판의 하면에 금속을 증착하고 단위 칩별로 패터닝하여 제 2 오믹전극을 형성하는 제 2 단계;
상기 제 2 오믹전극의 하면에 절연막을 증착하고, 상기 절연막의 일영역을 제거하여 상기 제 2 오믹전극의 일부를 노출시키는 제 3 단계;
상기 절연막과 노출된 제 2 오믹전극의 하면에 금속을 증착하여 n패드 전극을 형성하는 제 4 단계;
상기 질화물 기판부터 제 1 오믹전극까지 단위 칩별로 스크라이빙시켜 분리하는 제 5 단계로 이루어지는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 절연막은;
HR 코팅(High Reflective coating)용 절연체로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 절연체는;
TiO2, SiO2, Al2O3 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
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