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반도체 발광 다이오드 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015027191
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요약 본 발명은 반도체 발광 다이오드 제조 방법에 관한 것으로서, 반도체 발광 다이오드에 사용되는 질화물 기판의 하면에 오믹 전극을 증착하고, 증착한 오믹 전극의 하부에 고 반사율을 가진 금속이나 절연체가 사용된 반사막과 본딩용 패드인 n패드 전극을 순차적으로 형성하여 반도체 발광 다이오드의 발광시 n패드전극에 흡수되는 광을 최소한으로 줄여 발광 효율을 증대시킨다. 반도체, 발광, 다이오드, 발광, 효율, 반사막, 적층, 절연체
Int. CL H01L 33/36 (2014.01)
CPC H01L 33/005(2013.01) H01L 33/005(2013.01) H01L 33/005(2013.01) H01L 33/005(2013.01) H01L 33/005(2013.01) H01L 33/005(2013.01)
출원번호/일자 1020030004473 (2003.01.23)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0945984-0000 (2010.02.26)
공개번호/일자 10-2004-0067397 (2004.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20100309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.18)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서주옥 대한민국 경기도의왕시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2003-0023632-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2007.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0910338-16
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0053347-91
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0267374-59
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0432798-84
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0432796-93
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
12 등록결정서
Decision to grant
2009.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0529562-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
질화물 기판 상부에 n-질화물층, 활성층, p-질화물층, 제 1 오믹전극을 순차적으로 적층하고, 상기 제 1 오믹전극 상면에 금속을 증착하고 패터닝하여 p패드 전극을 형성하는 제 1 단계; 상기 질화물 기판의 하면에 금속을 증착하고 단위 칩별로 패터닝하여 제 2 오믹전극을 형성하는 제 2 단계; 상기 제 2 오믹전극의 하부에 반사막과 n패드 전극을 순차적으로 적층하는 제 3 단계; 상기 질화물 기판부터 제 1 오믹전극까지 단위 칩별로 스크라이빙시켜 분리하는 제 4 단계로 이루어지는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 반사막은; 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 금속은; 알루미늄(Al) 또는 금(Ag)인 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
4 4
질화물 기판 상부에 n-질화물층, 활성층, p-질화물층, 제 1 오믹전극을 순차적으로 적층하고, 상기 제 1 오믹전극 상면에 금속을 증착하고 패터닝하여 p패드 전극을 형성하는 제 1 단계; 상기 질화물 기판의 하면에 금속을 증착하고 단위 칩별로 패터닝하여 제 2 오믹전극을 형성하는 제 2 단계; 상기 제 2 오믹전극의 하면에 절연막을 증착하고, 상기 절연막의 일영역을 제거하여 상기 제 2 오믹전극의 일부를 노출시키는 제 3 단계; 상기 절연막과 노출된 제 2 오믹전극의 하면에 금속을 증착하여 n패드 전극을 형성하는 제 4 단계; 상기 질화물 기판부터 제 1 오믹전극까지 단위 칩별로 스크라이빙시켜 분리하는 제 5 단계로 이루어지는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 절연막은; HR 코팅(High Reflective coating)용 절연체로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 절연체는; TiO2, SiO2, Al2O3 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 반도체 발광 다이오드 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.