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카세트세정장치

  • 기술번호 : KST2015027199
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정면에 개구부가 형성된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서, 상기 개구부가 일방향을 향하도록 상기 카세트를 수용하는 세정영역과; 상기 카세트를 타 방향에서 지지하는 턴테이블어셈블리와; 상기 카세트 개구부가 일방향을 향한 상태로 회전하도록 상기 턴테이블어셈블리를 회전시키는 구동수단과; 상기 개구부를 통해 상기 카세트 내로 인입/인출될 수 있도록 이동 가능하고, DI와 CDA를 분사하는 제 1 노즐장치와; 상기 타방향에서 상기 카세트 배면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치를 포함하는 카세트세정장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC B08B 3/02(2013.01) B08B 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020030009861 (2003.02.17)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0960685-0000 (2010.05.24)
공개번호/일자 10-2004-0074315 (2004.08.25) 문서열기
공고번호/일자 (20100531) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.23)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이현철 대한민국 대구광역시동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-0053959-86
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0056615-94
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0056625-40
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0028306-88
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0432835-22
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0738675-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0034390-59
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0034389-13
11 등록결정서
Decision to grant
2010.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0213570-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정면에 개구부가 형성되며, 배면 내측으로부터 개구부를 향해 분기된 다수의 서포트바가 설치된 카세트를 세정하는 카세트세정장치로서, 상기 개구부가 일방향을 향하도록 상기 카세트를 수용하는 세정영역과; 상기 카세트를 상기 일방향의 반대방향인 타 방향에서 지지하는 턴테이블어셈블리와; 상기 카세트 개구부가 일방향을 향한 상태로 회전하도록 상기 턴테이블어셈블리를 회전시키는 구동수단과; 상기 개구부를 통해 상기 카세트 내로 인입/인출될 수 있도록 이동 가능하고, DI와 CDA를 분사하는 제 1 노즐장치와; 상기 타방향에서 상기 카세트 배면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치 를 포함하는 카세트세정장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 카세트세정장치는 상기 카세트 외측면을 향해 DI와 CDA를 분사하는 제 3 노즐장치과; 상기 카세트 외측면을 향해 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 4 노즐장치 를 더욱 포함하는 카세트세정장치
3 3
청구항 1 또는 2항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 카세트는 상기 개구부가 상방을 향하도록 상기 세정영역에 수용되고, 상기 턴테이블어셈블리는, 상면이 상기 카세트 배면과 소정의 간격을 두고 대향하는 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트 상면에서 분기하여 상기 카세트 배면에 접촉되는 받침단과; 상기 베이스플레이트 저면으로부터 실질적으로 수직하게 분기한 샤프트 를 포함하는 카세트세정장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 구동수단은 회전축을 가지는 동력발생장치와; 상기 회전축과 상기 샤프트를 연결하는 연결부재 를 포함하는 카세트세정장치
5 5
청구항 3에 있어서, 상기 제 2 노즐장치는 상기 베이스플레이트와 상기 카세트배면 사이에 위치하고, 상기 제 2 노즐장치로 DI 및 CDA를 공급하며, 상기 샤프트를 길이방향으로 관통하는 공급관 을 더욱 포함하는 카세트세정장치
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 공급관에 설치되어 상기 공급관을 흐르는 CDA를 가열하는 인라인 히터 를 더욱 포함하는 카세트세정장치
7 7
삭제
8 8
청구항 4에 있어서, 상기 연결부재는 벨트인 카세트세정장치
9 9
청구항 4에 있어서, 상기 동력발생장치는 모터인 카세트세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.