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발광 다이오드 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015027208
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요약 본 발명은 발광 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여, 동일한 폭의 절연막 상부에 위치한 영역에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하거나, 또는 폭이 서로 다른 두 개의 절연막 상부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하고, 이렇게 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 그 제 2 n-질화물층 상면에 활성층을 형성하도록 함으로써 단일 칩의 발광 다이오드에서 동시에 여러 파장의 광을 낼 수 있게 되어 그 광들의 혼합으로 다양한 색의 구현이 가능하다. 발광, 다이오드, 파장, 색, 홈
Int. CL H01L 33/22 (2014.01)
CPC H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01)
출원번호/일자 1020030004938 (2003.01.24)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0504179-0000 (2005.07.20)
공개번호/일자 10-2004-0067705 (2004.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20050728) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.01.24)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김민홍 대한민국 경기도고양시덕양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창남 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, *층 (서초동, 명지빌딩)(나이스국제특허법률사무소)
2 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
3 장재용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **-*, *층(역삼동, 대명빌딩)(휴피아국제특허법률사무소)
4 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
5 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
6 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2003-0027098-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2004-0044090-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0039963-56
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2005.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2005-0152382-66
7 의견서
Written Opinion
2005.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0219857-45
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0219873-76
9 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2005.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0219854-19
10 등록결정서
Decision to grant
2005.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0335180-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이종 기판 상면에 제 1 n-질화물층을 형성하는 제 1 단계;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 절연막을 형성하는 제 2 단계;상기 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 제 3 단계;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 활성층을 형성하는 제 4 단계;상기 활성층 상면에 p-질화물층을 형성하는 제 5 단계;상기 p-질화물층 상면의 일부에 p패드 전극을 형성하고, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 n패드전극을 형성하는 제 6 단계로 이루어지는, 발광 다이오드 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계는;상기 제 1 n-질화물층을 900℃ ~ 1050℃의 온도에서 측면 성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
4 4
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 홈은;V-그루브(groove)인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
5 5
이종 기판 상면에 제 1 n-질화물층을 형성하는 제 1 단계;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막을 규칙적으로 반복되게 형성하는 제 2 단계;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 제 3 단계;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 활성층을 형성하는 제 4 단계;상기 활성층 상면에 p-질화물층을 형성하는 제 5 단계;상기 p-질화물층 상면의 일부에 p패드 전극을 형성하고, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 n패드전극을 형성하는 제 6 단계로 이루어지는, 발광 다이오드 제조 방법
6 6
삭제
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 절연막과 제 2 절연막은; 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물, 텅스텐 및 텅스텐 질화물 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
8 8
제 5 항에 있어서, 상기 제 3 단계는;상기 제 1 n-질화물층을 900℃ ~ 1050℃의 온도에서 측면 성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
9 9
제 5 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 홈은;V-그루브(groove)인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
10 10
이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 절연막;상기 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
11 11
이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
12 11
이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.