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이종 기판 상면에 제 1 n-질화물층을 형성하는 제 1 단계;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 절연막을 형성하는 제 2 단계;상기 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 제 3 단계;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 활성층을 형성하는 제 4 단계;상기 활성층 상면에 p-질화물층을 형성하는 제 5 단계;상기 p-질화물층 상면의 일부에 p패드 전극을 형성하고, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 n패드전극을 형성하는 제 6 단계로 이루어지는, 발광 다이오드 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계는;상기 제 1 n-질화물층을 900℃ ~ 1050℃의 온도에서 측면 성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
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제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 홈은;V-그루브(groove)인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
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이종 기판 상면에 제 1 n-질화물층을 형성하는 제 1 단계;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막을 규칙적으로 반복되게 형성하는 제 2 단계;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 제 3 단계;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 활성층을 형성하는 제 4 단계;상기 활성층 상면에 p-질화물층을 형성하는 제 5 단계;상기 p-질화물층 상면의 일부에 p패드 전극을 형성하고, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 n패드전극을 형성하는 제 6 단계로 이루어지는, 발광 다이오드 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 1 절연막과 제 2 절연막은; 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물, 텅스텐 및 텅스텐 질화물 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 3 단계는;상기 제 1 n-질화물층을 900℃ ~ 1050℃의 온도에서 측면 성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
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제 5 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 홈은;V-그루브(groove)인 것을 특징으로 하는, 발광 다이오드 제조 방법
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이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 절연막;상기 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
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이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
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이종 기판 상면에 형성된 제 1 n-질화물층;상기 제 1 n-질화물층 상면에 마스크 재료를 도포하고 패터닝하여 형성된 제 1 절연막과, 상기 제 1 절연막보다 폭이 넓은 제 2 절연막;상기 제 1 절연막과 제 2 절연막을 마스크로 하여 상기 제 1 n-질화물층을 측면성장시켜 상기 제 2 절연막의 상부에 위치한 영역의 상부 일부에 홈이 형성된 제 2 n-질화물층;상기 홈이 형성된 제 2 n-질화물층의 상면과 동일한 형상으로 상기 제 2 n-질화물층 상면에 형성된 활성층;상기 활성층 상면에 형성된 p-질화물층;상기 p-질화물층 상면의 일부에 형성된 p패드 전극과, 상기 p-질화물층부터 상기 제 2 n-질화물층의 일부까지 수직 방향으로 식각하여 노출된 제 2 n-질화물층의 상면에 형성된 n패드전극으로 이루어지는, 발광 다이오드
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