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자외선을 이용하는 기판세정장치

  • 기술번호 : KST2015027215
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 위치가 고정된 석영윈도우와, 일면이 상기 석영윈도우와 대면하는 기판과, 상기 석영윈도우를 사이에 두고 상기 기판 반대방향에 위치되며, 상기 기판 일면을 향해 자외선을 조사하는 자외선소스와, 상기 석영윈도우를 향하는 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대향하도록 상기 기판을 지지하는 무빙플레이트와, 상기 기판 일면과 상기 석영윈도우의 사이 간격이 가깝거나 멀어지도록 상기 무빙플레이트를 이동시키는 무빙어셈블리를 포함하는 기판세정장치로서, 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 터치패드 및 상기 무빙플레이트를 따라 이동되면서, 상기 각각의 터치패드와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 접촉식게이지, 또는 이와 달리 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 접촉식게이지 및 상기 무빙플레이트를 따라 이동되면서, 상기 각각의 접촉식게이지와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 터치패드를 포함하는 기판세정장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1020030008474 (2003.02.11)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-0971944-0000 (2010.07.16)
공개번호/일자 10-2004-0072825 (2004.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20100723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.23)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임수호 대한민국 경상북도구미시임
2 정병화 대한민국 경상북도칠곡군
3 한재덕 대한민국 충청남도연기군
4 권오기 대한민국 대구광역시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2003-0046780-46
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0056614-48
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0056625-40
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0134700-66
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0300221-56
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0300220-11
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0387704-15
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0705383-76
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0705386-13
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2010.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0107286-45
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.05.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0298454-07
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.05.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0298456-98
14 등록결정서
Decision to grant		 2010.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0227667-18
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
위치가 고정된 석영윈도우와; 일면이 상기 석영윈도우와 대면하는 기판과; 상기 석영윈도우를 사이에 두고 상기 기판 반대방향에 위치되며, 상기 기판 일면을 향해 자외선을 조사하는 자외선소스와; 상기 석영윈도우를 향하는 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대향하도록 상기 기판을 지지하는 무빙플레이트와; 상기 기판 일면과 상기 석영윈도우의 사이 간격이 가깝거나 멀어지도록 상기 무빙플레이트를 이동시키는 무빙어셈블리와; 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 터치패드와; 상기 무빙플레이트를 따라 이동되면서, 상기 각각의 터치패드와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 접촉식게이지 를 포함하며, 상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치로 표시하는 압력식게이지인 기판세정장치
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 무빙어셈블리는 모터와; 상기 모터의 회전력을 상기 무빙플레이트의 이동으로 변환하는 볼스크류를 포함하며, 상기 자외선소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와; 상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판 을 포함하는 기판세정장치
4 4
위치가 고정된 석영윈도우와; 일면이 상기 석영윈도우와 대면하는 기판과; 상기 석영윈도우를 사이에 두고 상기 기판 반대방향에 위치되며, 상기 기판 일면을 향해 자외선을 조사하는 자외선소스와; 상기 석영윈도우를 향하는 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대향하도록 상기 기판을 지지하는 무빙플레이트와; 상기 기판 일면과 상기 석영윈도우의 사이 간격이 가깝거나 멀어지도록 상기 무빙플레이트를 이동시키는 무빙어셈블리와; 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 접촉식게이지와; 상기 무빙플레이트를 따라 이동되면서, 상기 각각의 접촉식게이지와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 터치패드 를 포함하며, 상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치로 표시하는 압력식게이지인 기판세정장치
5 5
삭제
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 무빙어셈블리는 모터와; 상기 모터의 회전력을 상기 무빙플레이트의 이동으로 변환하는 볼스크류를 포함하며, 상기 자외선소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와; 상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판 을 포함하는 기판세정장치
7 7
내부를 평행하게 가로지르는 석영윈도우와 베이스플레이트에 의해 상단의 제 1 영역과, 중간의 제 2 영역과, 하단의 제 3 영역이 구분되는 챔버형 기판세정장치로서, 상기 제 1 영역에서 상기 제 2 영역으로 자외선을 조사하는 자외선발광소스와; 상기 제 2 영역에 위치되며 일면이 상기 석영윈도우와 대면하는 기판과; 상기 제 3 영역에 위치되며 상기 기판을 상기 석영윈도우와 멀거나 가까워지도록 승강시키는 무빙어셈블리와; 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 터치패드와; 상기 기판의 승강운동에 연동하여 상기 각각의 터치패드와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 접촉식게이지 를 포함하며, 상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치로 표시하는 압력식게이지인 기판세정장치
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 기판세정장치는, 상기 제 2 영역에서 상기 기판을 지지하여 상기 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대면되도록 하는 무빙플레이트를 포함하고, 상기 무빙어셈블리는, 상기 베이스플레이트를 관통하여 일단이 상기 무빙플레이트 배면에 각각 수직하게 연결되는 적어도 하나 이상의 샤프트와; 구동수단과; 상기 구동수단의 동작을 상기 적어도 하나 이상의 샤프트의 승강운동으로 변환하는 동력전환수단 을 포함하는 기판세정장치
9 9
청구항 8에 있어서, 상기 구동수단은 모터이고, 상기 동력전환수단은, 상기 샤프트와 나란한 스크류로드 그리고 볼스크류로 이루어지며, 상기 스크류로드는 상기 모터의 회전력에 의해 길이방향을 축으로 하여 회전하며, 상기 볼스크류는 가이드플레이트를 포함하며, 상기 가이드플레이트는 상기 베이스플레이트 배면과 평행하게 상기 스크류로드에 관통된 상태로 상기 하나 이상의 샤프트와 연결되어, 상기 스크류로드의 회전방향을 따라 승강하는 기판세정장치
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 접촉식게이지는 상기 가이드플레이트에 고정되고, 상기 적어도 하나 이상의 터치패드는 상기 베이스플레이트 배면에 고정되는 기판세정장치
11 11
청구항 10에 있어서, 상기 터치패드와 상기 접촉식게이지는 적어도 두 개 이상의 복수개 이고, 상기 각 접촉식게이지는 상기 가이드플레이트 가장자리를 따라 동일간격으로 이격되며, 상기 각 터치패드는 상기 각각의 접촉식게이지와 대응되도록 베이스플레이트 배면에 고정되는 기판세정장치
12 12
삭제
13 13
청구항 7에 있어서, 상기 자외선발광소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와; 상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판 을 더욱 포함하는 기판세정장치
14 14
내부를 평행하게 가로지르는 석영윈도우와 베이스플레이트에 의해 상단의 제 1 영역과, 중간의 제 2 영역과, 하단의 제 3 영역이 구분되고, 상기 제 2 영역을 감싸는 측벽을 포함하는 챔버형 기판세정장치로서, 상기 제 1 영역에서 상기 제 2 영역으로 자외선을 조사하는 자외선발광소스와; 상기 제 2 영역에 위치되며 일면이 상기 석영윈도우와 대면하는 기판과; 상기 제 3 영역에 위치되며 상기 기판을 상기 석영윈도우와 멀거나 가까워지도록 승강시키는 무빙어셈블리와; 위치가 고정된 적어도 하나 이상의 접촉식게이지와; 상기 기판의 승강운동에 연동하여 상기 각각의 접촉식게이지와 접촉 또는 이격되는 적어도 하나 이상의 터치패드 를 포함하며, 상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치로 표시하는 압력식게이지인 기판세정장치
15 15
청구항 14에 있어서, 상기 제 2 영역에서 상기 기판을 지지하여 상기 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대면되도록 하는 무빙플레이트를 더욱 포함하여, 상기 무빙어셈블리는 상기 무빙플레이트를 이동시키는 기판세정장치
16 16
청구항 15에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 접촉식게이지는 상기 측벽에 고정되고, 상기 적어도 하나 이상의 터치패드는 상기 무빙플레이트 가장자리에 고정되는 기판세정장치
17 17
청구항 16에 있어서, 상기 터치패드와 상기 접촉식게이지는 적어도 두 개 이상의 복수개 이고, 상기 각 접촉식게이지는 상기 측벽을 따라 동일높이에서 동일간격으로 이격되며, 상기 각 터치패드는 상기 각각의 접촉식 게이지와 대응되도록 상기 무빙플레이트 가장자리에 고정되는 기판세정장치
18 18
삭제
19 19
청구항 15에 있어서, 상기 무빙어셈블리는, 상기 베이스플레이트를 관통하여 일단이 상기 무빙플레이트 배면에 각각 연결되는 적어도 하나 이상의 샤프트와; 구동수단과; 상기 구동수단의 동작을 상기 적어도 하나 이상의 샤프트의 승강운동으로 변환하는 동력전환수단 을 포함하는 기판세정장치
20 20
청구항 19에 있어서, 상기 구동수단은 모터이고, 상기 동력전환수단은, 상기 샤프트와 나란한 스크류로드 그리고 볼스크류로 이루어지며, 상기 스크류로드는 상기 모터의 회전력에 의해 길이방향을 축으로 하여 회전하며, 상기 볼스크류는 가이드플레이트를 포함하며, 상기 가이드플레이트는 상기 베이스플레이트 배면과 평행하게 상기 스크류로드에 관통된 상태로 상기 하나 이상의 샤프트와 연결되어, 상기 스크류로드의 회전방향을 따라 승강하는 기판세정장치
21 21
청구항 14에 있어서, 상기 자외선발광소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와; 상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판 을 더욱 포함하는 기판세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.